holmarc Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer

holmarc Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer變角光譜橢偏儀結(jié)合了旋轉(zhuǎn)分析儀橢偏儀技術(shù)來(lái)表征薄膜樣品。它使用高速CCD陣列檢測(cè)來(lái)收集整個(gè)光譜。它可以測(cè)量從納米厚度到數(shù)十微米的薄膜，以及從透明到吸收材料的光學(xué)特性。它可以精確地測(cè)量光學(xué)常數(shù)，例如折射率，薄膜厚度和消光系數(shù)。

光譜橢偏儀廣泛用于薄膜分析和測(cè)量。

holmarc Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer光譜橢圓儀結(jié)合了旋轉(zhuǎn)分析儀橢偏儀技術(shù)來(lái)表征薄膜樣品。它使用高速CCD陣列檢測(cè)來(lái)收集整個(gè)光譜。它可以測(cè)量從納米厚度到數(shù)十微米的薄膜，以及從透明到吸收材料的光學(xué)特性。它可以精確地測(cè)量光學(xué)常數(shù)，例如折射率，薄膜厚度和消光系數(shù)。

光譜范圍：450-800nm

探測(cè)器：線(xiàn)陣CCD攝像機(jī)

分辨率：2nm

光源：鹵素?zé)?/td>

入射角：50-75度（分辨率：0.1度，自動(dòng)操作）

厚度測(cè)量范圍：0.1nm-10micron

膜厚分辨率：0.01nm

測(cè)得的RI分辨率：0.001

樣品對(duì)準(zhǔn)：半自動(dòng)（光學(xué)檢測(cè)），手動(dòng)10mm高度調(diào)節(jié)和傾斜

樣品臺(tái)特點(diǎn)：X-Y平移超過(guò)150 x 150mm（可選）

可測(cè)量的薄膜參數(shù)：折射率，消光系數(shù)，吸收系數(shù)和薄膜厚度

軟件功能：

采集和分析不同波長(zhǎng)和角度下的PSI，增量和反射率

用戶(hù)可擴(kuò)展材料庫(kù)

數(shù)據(jù)可以另存為Excel或文本文件

*的數(shù)學(xué)擬合算法

提取厚度和光學(xué)常數(shù)

參數(shù)化模型

多層厚度測(cè)量

 

橢偏原理

 

橢偏法是用于薄膜分析的高度靈敏的技術(shù)。該原理依賴(lài)于從表面反射時(shí)光的偏振態(tài)的變化。

表征極化狀態(tài)，對(duì)應(yīng)于電磁波電場(chǎng)的方向；選擇兩個(gè)方向作為參考，p方向（平行）和s方向（垂直）。反射光具有在p方向和s方向上不同的相位變化。橢偏法測(cè)量這種極化狀態(tài)；

p  =  rp / rs  =  tan Ψe iΔ

其中Ψ和Δ是振幅比和p的相移和S組分。由于橢圓偏振法正在測(cè)量?jī)蓚€(gè)值的比率，因此它非常準(zhǔn)確且可重現(xiàn)。

特征
 

    無(wú)損非接觸技術(shù)

    單層和多層樣品的分析

    精確測(cè)量超薄膜

    測(cè)量，建模和自動(dòng)操作軟件

    對(duì)（Ψ，Δ）的統(tǒng)一測(cè)量靈敏度

此款產(chǎn)品不用于醫(yī)療，不用于臨床使用，此產(chǎn)品僅用于科研使用。