MEMSMap 510激光多普勒振動(dòng)測量系統(tǒng)

基于激光的微結(jié)構(gòu)高頻、低振幅振動(dòng)三維測量系統(tǒng)。

MEMSMap 510還可以測量靜態(tài)位移，它可以測量粗糙和光滑的表面，具有微米的空間分辨率。

通過使用長焦距物鏡，MEMSMap 510可以通過窗口和熱過濾器、鏡子以及液體介質(zhì)進(jìn)行測量。             

•MEMS和NEMS •微結(jié)構(gòu) •傳感器

•振動(dòng)模式分析•響應(yīng)譜•壓力傳感器•加速度計(jì)

•陀螺儀•碰撞傳感器•高溫測量•真空室測量

•熱偏轉(zhuǎn)測量•老化效應(yīng)分析             

•汽車工業(yè)•傳感器工業(yè)•醫(yī)療工業(yè)•航空航天工業(yè)•電子工業(yè)•研發(fā)•產(chǎn)品測試

MEMSMap 510使用擴(kuò)展的激光束照亮目標(biāo)區(qū)域，同時(shí)通過顯微物鏡將目標(biāo)成像到CMOS傳感器陣列上。

對于平面外測量，使用內(nèi)部參考光束干擾目標(biāo)光。對于平面內(nèi)測量，兩束激光用于物體照明。

對于振動(dòng)測量，系統(tǒng)計(jì)算機(jī)使用信號(hào)發(fā)生器驅(qū)動(dòng)激勵(lì)裝置，目標(biāo)物體在一個(gè)頻率范圍內(nèi)被激勵(lì)。

振動(dòng)振幅條紋可以實(shí)時(shí)顯示，同時(shí)采用*的記錄算法計(jì)算數(shù)值振幅和相位圖。

對于靜態(tài)撓度測量，光電管技術(shù)基于相移來記錄和計(jì)算被測物體的靜態(tài)撓度。

激光器類型：Nd：YAG/2

激光波長：532nm

CCD分辨率：1936*1216/CMOS

振幅分辨率（數(shù)字模式）：0.1nm

振幅分辨率（實(shí)時(shí)模式）~1nm

3D頻率范圍：0-240MHz

激光多普勒測振儀以其測速精度高、測速范圍廣、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、非接觸測量等優(yōu)點(diǎn)在航空航天、機(jī)械、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用和快速發(fā)展。激光測振儀主要應(yīng)用多普勒效應(yīng)實(shí)現(xiàn)物體的振動(dòng)測試，利用激光的非接觸測量可實(shí)現(xiàn)一些特殊環(huán)境下的測試，例如對微電子元件（MEMS），機(jī)床高速旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)及軸向振動(dòng)以及在高溫腐蝕環(huán)境下的測試，實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)的接觸式傳感器在這些應(yīng)用領(lǐng)域的空白。