TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫?zé)犭娕?/h3>

閱讀：329        發(fā)布時(shí)間：2023-9-9

TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫?zé)犭娕?/span>

TC wafer是什么？

      TC為熱電偶的簡稱， TC-Wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)測量。通過晶圓的測溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù)，從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。

智測電子生產(chǎn)研發(fā)的Wafer-TC晶圓熱電偶溫度傳感器，其溫度范圍廣泛，智測電子的產(chǎn)品設(shè)計(jì)考慮到了用戶的實(shí)際需求，傳感器引線可定制，且采用了硅基膠粘劑和焊接技術(shù)，使其具有更好的性能和可靠性。 總之，智測電子的高精度溫度傳感器不僅在技術(shù)上具備優(yōu)勢，而且在服務(wù)方面也能夠?yàn)橛脩籼峁I(yè)的解決方案。

TC-Wafer晶圓溫度測量系統(tǒng)應(yīng)用于許多行業(yè)，包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學(xué)氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、ION 等應(yīng)用注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動(dòng)工藝。智測電子具有高精度溫度測量與控制技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)，支持產(chǎn)品定制。

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