TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓溫度傳感器

引言

TC為熱電偶的簡稱， TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）

在半導(dǎo)體工藝中，TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng)可用于多種應(yīng)用場景，包括光刻、刻蝕、薄膜沉積等。其能夠?qū)崿F(xiàn)精確的溫度控制，從而提高工藝的穩(wěn)定性和準確性，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。此外，其還可以用于廢料處理和設(shè)備維護等，提高生產(chǎn)效率和成本效益
智測電子擁有全套傳感器生產(chǎn)、加工與檢測設(shè)備，擁有高精度溫度傳感器的生產(chǎn)、研發(fā)和產(chǎn)品定制能力，為半導(dǎo)體裝備、航空航天、智能制造、高校實驗室、計*院所、生物技術(shù)等行業(yè)用戶提供專業(yè)的高精度測溫解決方案。

產(chǎn)品特點

半導(dǎo)體制造廠 Fab，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用。

傳感器可以定制。

高精度多通道數(shù)據(jù)采集儀。

優(yōu)異的軟件功能，方便數(shù)據(jù)統(tǒng)計、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出。

產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面，可以實現(xiàn)對晶圓溫度的實時、精確監(jiān)測。

可靠性：傳感器材料穩(wěn)定，適應(yīng)長期運行，不易受到外界干擾。

高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準確地捕捉，確保制程的穩(wěn)定性。

即時性：傳感器的實時性能使得生產(chǎn)線上的溫度調(diào)整能夠迅速響應(yīng)，減少生產(chǎn)過程中的溫度波動。

TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓溫度傳感器