SMC電氣比例閥ITV2000/ITV3000系列為正壓型，設(shè)定壓力范圍有三檔。在平衡狀態(tài)時(shí)耗氣量為0.在不加壓狀態(tài)下，可進(jìn)行零位調(diào)整和滿位調(diào)整。在加壓狀態(tài)下若斷電，能暫時(shí)保持輸出壓力不變。有兩種監(jiān)控方式（模擬輸出、開關(guān)輸出）可供選擇。輸入信號(hào)增大，供氣用電磁先導(dǎo)閥1換向，而排氣先導(dǎo)閥7處于復(fù)位狀態(tài)，則供氣氣壓力從SUP口通過閥1進(jìn)入先導(dǎo)室5，先導(dǎo)室壓力上升，氣壓力作用在膜片2的上方，則和膜片2相連的供氣閥芯4便開啟，排氣閥芯3關(guān)閉，產(chǎn)生輸出壓力。此輸出壓力通過傳感器6反饋至控制回路8.在這里，與目標(biāo)值進(jìn)行快速比較修正，直到輸出壓力與輸入電信號(hào)成一定比例為止，從而得到輸出壓力與輸入電信號(hào)的變化成比例變化。由于沒有使用噴嘴擋板機(jī)構(gòu)，故閥對(duì)雜志不敏感，可靠性高。

ITV2000/ITV3000系列電氣比例閥動(dòng)作原理圖
1-供氣先導(dǎo)閥 2-膜片 3-排氣閥 4-供氣閥芯 5-先導(dǎo)室 6-壓力傳感器 7-排氣先導(dǎo)閥 8-控制回路

SMC電氣比例閥型號(hào)：ITV0050-3ML

ITV1030-011s

ITV1030-012s

ITV2030-012S

ITV2030-31F3N3

ITV2030-322L

ITV2050-012L

ITV2050-01F3N3-Q

ITV2050-213BL

ITV2050-312L

ITV2051-312BL4

ITV3030-314L

ITV3050-044S

ITV3050-314CL