詳細(xì)介紹
賀德克壓力傳感器是使用zui為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過(guò)外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
賀德克壓力傳感器
靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容,將通過(guò)外力(壓力)使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。 (E8Y的動(dòng)作原理便是靜電容量方式,其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式)。
技術(shù)參數(shù):
技術(shù)參數(shù) (量程15MPa-200MPa)
參數(shù) 單位 技術(shù)指標(biāo) 參數(shù) 單位 技術(shù)指標(biāo)
靈敏度 mV/V 1.0±0.05 靈敏度溫度系數(shù) ≤%F·S/10℃ ±0.03
非線性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 工作溫度范圍 ℃ -20℃~+80℃
滯后 ≤%F·S ±0.02~±0.03 輸入電阻 Ω 400±10Ω
重復(fù)性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 輸出電阻 Ω 350±5Ω
蠕變 ≤%F·S/30min ±0.02 安全過(guò)載 ≤%F·S 150% F·S
零點(diǎn)輸出 ≤%F·S ±2 絕緣電阻 MΩ ≥5000MΩ(50VDC)
零點(diǎn)溫度系數(shù) ≤%F·S/10℃ ±0.03 推薦激勵(lì)電壓 V 10V-15V