詳細(xì)介紹
威格勒壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。
第三是線(xiàn)性誤差:這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性,但對(duì)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn),也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
最后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
威格勒壓力傳感器規(guī)格參數(shù):
測(cè)量范圍 0...40 bar
測(cè)量方式 相對(duì)
最大過(guò)載壓力 80 bar
破裂應(yīng)力 160 bar
設(shè)置范圍 4...100 %
介質(zhì) 液體;氣體
切換遲滯 2 %
測(cè)量偏差 < ± 0,5 %
溫度偏差 0,025 %/K