詳細介紹
MTS傳感器的核心包括一條鐵磁材料的測量感應元件,一般被稱為 "波導管",一個可以移動的永磁鐵,磁鐵與波導管會產(chǎn)生一個縱向向的磁場。 每當電流脈沖(即 "詢問信號")由傳感器電子頭送出并通過波導管時,第二個磁場便由波導管的徑向方面制造出來。 當這兩個磁場在波導管相交的瞬間,波導管產(chǎn)生 "磁致伸縮" 現(xiàn)像,一個應變脈沖即時產(chǎn)生。這個被稱為 "返回信號" 的脈沖以超聲的速度從產(chǎn)生點(即位置測量點)運行回傳感器電子頭并被檢測器檢出來。
MTS傳感器用標準的生產(chǎn)硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。
MTS線性傳感器部分型號如下:
RHM0025MP031S1B6100 RHM0700MD701S1G1100 RHV0300MP010S1G1100 RHV0200MP101S1B8100
RHM0075MP021S2G1100 RHM0100MD701S1G1100 RHM0205MT01AS1G1100 RHM1200MP051S1G6100
RHM0100MD701S1G8100 RHV0780MP101S1G1100 RHM0150MP021S2G1100 RHM0330MP101S3B6105