上海聞奕光電科技有限公司的VFT 光纖過(guò)真空裝置 是連接真空室內(nèi)光纖的裝置，如等離子體的監(jiān)控。 光纖過(guò)真空裝置 包括一個(gè)帶Viton型密封圈的M12螺絲，和2個(gè)SMA光纖接頭，可以方便地和光纖探頭連接（需要額外訂購(gòu)兩個(gè)SMA905光纖適配器）。由多種型號(hào)的真空通管與所有芯徑的光纖匹配，從9 µm到1000 µm，而且分別有UV200~1100nm和IR400~2500nm波長(zhǎng)型號(hào),還可以根據(jù)客戶要求定制。

        聞奕光電提供的VFT 可以將光導(dǎo)入或?qū)С稣婵帐遥詫?shí)現(xiàn)超高真空的應(yīng)用場(chǎng)合，例如半導(dǎo)體處理的光學(xué)監(jiān)測(cè)和薄膜吸附的最終檢測(cè)。

在隔空箱和高壓應(yīng)用場(chǎng)合下有較好的表現(xiàn)，真空度高達(dá)最大 10^-7 mbar ，操作溫度為200 °C（定制最高達(dá)300 °C）。

真空室要求壁厚5-40 mm，在腔體上開一個(gè)直徑12mm的圓孔即可，注意緊貼O型圈的一面盡量光潔無(wú)劃痕。

使用光潔度高的金屬或者玻璃腔體，使VFT在超高真空應(yīng)用場(chǎng)合的表現(xiàn)得到提高。

VFT除了在半導(dǎo)體和薄膜處理方面的應(yīng)用，還是環(huán)境檢測(cè)、藥物學(xué)處理和光學(xué)涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學(xué)物理的蒸汽吸附方面，可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。

VFT 的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接，可以簡(jiǎn)單地與聞奕光電的光纖、光源、配件共同使用，以及本公司的光譜儀等光學(xué)設(shè)備。

VFT 有一個(gè)M12外螺紋，可以直接擰在開好M12螺紋孔的腔體上，或可以用預(yù)備好的螺帽和墊圈旋入一個(gè)光滑的孔。裝配過(guò)程非常簡(jiǎn)單，只需通過(guò)一個(gè)SMA905光纖適配器把光纖和VFT真空光纖饋通連接起來(lái)即可。在樣品室的低壓面，我們建議用戶選配金屬護(hù)套的石英光纖配套。

VFT 的光纖直徑有9μm、50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000μm可選；波長(zhǎng)可選UV200~1100nm和IR400~2500nm，可選配SMA905或者FC接頭。

選配配件

VFT可以定制配套的真空法蘭盤，如KF16、KF25、KF40等