機(jī)床垂直度測量激光干涉儀

垂直度測量—重要性:
當(dāng)垂直度誤差為10秒時(shí)，兩米的行程上偏差約為:0.1MM !?

★API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速.
★在測兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯(cuò).

與傳統(tǒng)的干涉儀相比，XD Laser能夠?qū)C(jī)器定位和軸向能力進(jìn)行快速，準(zhǔn)確的測量，從而可以進(jìn)行完整的機(jī)器評(píng)估，并將機(jī)器停機(jī)時(shí)間減少多達(dá)80％。

實(shí)時(shí)分析:
XD Laser是**可以在一個(gè)設(shè)置中同時(shí)測量所有6個(gè)誤差參數(shù)的評(píng)估系統(tǒng)。 還包括用于控制，數(shù)據(jù)采集和報(bào)告的軟件.

數(shù)控直線軸:幾何誤差(21項(xiàng)/3軸)

• 線性定位誤差(定位精度, 重復(fù)定位精度, 反向間隙)
• 直線度誤差(XX及YY方向)
• 垂直度
• 偏擺角
• 俯仰角
• 數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)甚至旋轉(zhuǎn)軸
• 滾動(dòng)角

一維測量系統(tǒng):

• XD –1D
• 標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
• 三維測量系統(tǒng)
• XD –3D
• 五維測量系統(tǒng)
• XD –5D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
• 六維測量系統(tǒng)
• XD –6D 標(biāo)準(zhǔn)型&精密型 

影響機(jī)床幾何誤差的因素:

• 環(huán)境因素:
• ??環(huán)境溫度: 變化1 ℃, 引起誤差: 1 ppm(1微米/1米長);
• ??大氣壓力: 變化2.5mmHg, 引起誤差: 1 ppm:
• ??相對濕度: 變化50%,引起誤差: 1 ppm;
• ??材料溫度: 變化1 ℃, 引起誤差: 11 ppm(鋼),23 ppm(鋁);
• 激光干涉儀測量精度(標(biāo)準(zhǔn)型):
• ??儀器測量誤差: 0.5 ppm(0.5微米/米)
• ??激光長期穩(wěn)頻精度: 0.05 ppm 

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