潔凈室無塵室的等級(jí)區(qū)分無塵布的適用范圍很廣,只有潔凈要求比較高的,都會(huì)用到,比如,LCD組裝,或是一些表面清潔等 　　無塵室根據(jù)潔凈程度不同分很多等級(jí) 　　目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無塵室等級(jí)大都為1000級(jí)和100級(jí)的居多 　　數(shù)字越小,潔凈等級(jí)越高 　　1000級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆 　　100級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過100顆 　　注意了,每個(gè)等級(jí)所管控的顆粒大小也不一樣 　　依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如：10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。 　　無塵室等級(jí)，無塵室標(biāo)準(zhǔn)，無塵室標(biāo)準(zhǔn)定義