• 設(shè)備簡(jiǎn)介

感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置主要包含兩種功能，一種用于材料的熔化提純，一種用于材料的定向凝固。
二、感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置MTQZ-15-60真空爐主要技術(shù)參數(shù)：
1、*高溫度：1650℃
2、線圈升降行程：150毫米，采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，升降速度可調(diào)節(jié)，分為快速和慢速
3、坩堝升降行程：150毫米，采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，升降速度可調(diào)節(jié)，分為快速和慢速
4、石墨坩堝尺寸：φ40*60㎜
5、感應(yīng)電源振蕩功率：15KW，電源電壓380V

1. 采用鎢錸熱偶監(jiān)測(cè)溫度，通過(guò)電流調(diào)節(jié)溫度
2. 可抽真空與充保護(hù)氣氛

• 感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置MTQZ-15-60真空爐結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介

感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置主要由感應(yīng)加熱裝置，坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區(qū)熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護(hù)氣氛裝置、測(cè)溫裝置、支架及操作臺(tái)裝置與可視化控制系統(tǒng)組成。

1. 感應(yīng)加熱裝置：由一臺(tái)振蕩功率15kW，振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應(yīng)加熱
2. 坩堝及保溫裝置：由一只石墨坩堝，一種石英陶瓷保溫套、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成，保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?/span>800℃；保溫蓋開(kāi)有觀察孔，可觀察到熔液狀態(tài)。
3. 密封石英管裝置：由一根石英管，兩套密封法蘭組成，采用硅膠密封圈密封，局部帶水冷，密封法蘭上帶各種接口，方便其他裝置接入。
4. 區(qū)熔裝置：由伺服電機(jī)、減速機(jī)、線性模組和連接塊組成，帶動(dòng)線圈沿著石英管上下移動(dòng)，速度可調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)區(qū)熔目的。
5. 定向凝固裝置：從石英管底部密封法蘭處引入，帶動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，留有熱偶接口，由步進(jìn)電機(jī)、減速機(jī)、線性模組和連接塊帶動(dòng)坩堝實(shí)現(xiàn)上下升降目的，實(shí)現(xiàn)定向凝固功能。
6. 保護(hù)氣氛裝置：石英管底部密封法蘭留有充氣接口，帶閥門(mén)和進(jìn)氣接口，石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門(mén)，并裝有安全閥，防止氣壓過(guò)高損壞元件
7. 測(cè)溫裝置：從定向凝固移動(dòng)管中接入，可直接跟石墨坩堝接觸，測(cè)量石墨坩堝溫度，并能根據(jù)溫度手動(dòng)調(diào)節(jié)高頻電源的輸出功率。
8. 支架及操作臺(tái)裝置：采用型材與板材拼接而成，人性化設(shè)計(jì)，操作方便，占地空間小。
9. 可視化控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)可視化操作，操作直觀方便。還可實(shí)時(shí)記錄各種實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并下載到PC端，方便用戶(hù)調(diào)整工藝數(shù)據(jù)。