半導(dǎo)體車間恒溫恒濕機(jī)
半導(dǎo)體車間恒溫恒濕機(jī) 產(chǎn)品詳細(xì)信息:半導(dǎo)體生產(chǎn)是對(duì)環(huán)境要求非常嚴(yán)格的,溫度必須控制20到25度之間,空氣濕度則是要求在45%到55%RH之間,超過55%,那么冷卻水的水管上就會(huì)有結(jié)露景象出現(xiàn),一旦水珠掉落到精細(xì)裝置或許是電路上,就會(huì)引發(fā)種種事項(xiàng),導(dǎo)致產(chǎn)物質(zhì)量降落不說,搞欠好還會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的安全生產(chǎn)事項(xiàng)。
除此之外,溫度變化也會(huì)對(duì)半導(dǎo)體的生產(chǎn)造成影響。我們知道不管是什么物體都有熱脹冷縮現(xiàn)象,這種現(xiàn)象對(duì)于精密儀器加工來說是非常致命的,因?yàn)槌霈F(xiàn)一丁點(diǎn)的溫度變化都會(huì)出現(xiàn)熱脹冷縮,雖然只有幾個(gè)微米的變動(dòng),但是對(duì)于產(chǎn)品來說就是不合格了。發(fā)展到現(xiàn)在,半導(dǎo)體的工藝差已經(jīng)到了納米級(jí)別,你結(jié)果出現(xiàn)的微米級(jí)別的變動(dòng),這變動(dòng)可就大的不得了,產(chǎn)品質(zhì)量不被影響那就怪了。
那么該怎么控制好半導(dǎo)體車間的溫濕度呢?其實(shí)很簡(jiǎn)單,那就是使用恒溫恒濕機(jī),這是一種專業(yè)控制溫濕度的設(shè)備,對(duì)溫濕度的控制很精準(zhǔn),能夠控制好半導(dǎo)體無塵車間的溫濕度,確保半導(dǎo)體車間的溫濕度變化不會(huì)影響生產(chǎn)。正島恒溫恒濕機(jī),控制溫濕度精確,售后及時(shí)周到,是半導(dǎo)體無塵車間控制溫濕度的好選擇。
◆智能控制:全自動(dòng)控制器采用Siemens微電腦PLC可編程控制系統(tǒng),可獨(dú)立控制或集中控制,可配置通信接口,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。 ◆控制精密:全自動(dòng)微電腦控制器所采用的動(dòng)態(tài)運(yùn)行控制方式可保證溫度控制范圍及精度:18℃~27℃±0.5℃或±1℃;濕度控制范圍及精度:45%~75%±2%或±5%RH; ◆高效寧?kù)o:機(jī)組采用谷輪Copeland高效柔性渦旋式壓縮機(jī)和低噪音高效風(fēng)機(jī),配合大面積高效率換熱器等部件優(yōu)化設(shè)計(jì)而成,并進(jìn)行特殊的消音處理,運(yùn)行高效寧?kù)o、制冷量更大、更省能源。 |
正島恒溫恒濕機(jī)系列產(chǎn)品具有自動(dòng)加熱、制冷、加濕、除濕空氣凈化、增補(bǔ)新風(fēng)的功能,分為自動(dòng)和手動(dòng)兩種形式。溫度、濕度的調(diào)節(jié)可同步進(jìn)行。以確保在設(shè)定的溫度濕度范圍內(nèi)保持室內(nèi)環(huán)境的恒溫恒濕的精確需求??蓾M足國(guó)防、科研單位實(shí)驗(yàn)室、數(shù)據(jù)中心、機(jī)房、酒窖、精密設(shè)備、制藥、玻璃真空鍍膜、高能電池原料儲(chǔ)存、糧食種子庫(kù)、顯影膠片庫(kù)及貴重文物等特殊物品的保存等特殊干燥工藝場(chǎng)合的要求,深受市場(chǎng)的歡迎。
正島恒溫恒濕機(jī)通過升溫、降溫、加濕、除濕,實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫濕度的恒定;主要由壓縮機(jī)、電加熱器、電極式蒸汽加濕器、連續(xù)式除濕執(zhí)行元件、連續(xù)式調(diào)速冷凝風(fēng)機(jī)等部件構(gòu)成。機(jī)組可以通過安裝送風(fēng)管、回風(fēng)管滿足大空間各個(gè)角落的溫濕度需求;并且針對(duì)需要新風(fēng)的場(chǎng)所,可以設(shè)計(jì)新風(fēng)管,滿足室內(nèi)新鮮空氣的需求;按冷卻方式可分為風(fēng)冷型(HF系列)和水冷型(HS系列);
正島HF系列風(fēng)冷型恒溫恒濕機(jī)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | 單位 | HF9Q-I | HF13D-I | HF20D-I | HF26D-I | HF31D-I | HF40D-I | HF52D-I | HF68D-I |
制冷量 | kw | 9.4 | 13.2 | 20.1 | 26.4 | 30.8 | 39.5 | 52.0 | 68.0 |
kcal/h | 8100 | 11300 | 1700 | 21800 | 26700 | 34000 | 44700 | 58500 | |
制熱量 | kw | 5.6 | 6.0 | 9.0 | 12.0 | 15.0 | 21.0 | 27.0 | 36.0 |
kcal/h | 4800 | 6200 | 7740 | 10300 | 12900 | 18100 | 23200 | 31000 | |
加濕量 | kg/h | 3 | 5 | 5 | 8 | 8 | 8 | 13 | 21 |
室外風(fēng)機(jī)功率 | kw | 0.35 | 0.47 | 0.52 | 0.75 | 1.10 | 1.06×2 | 1.50×2 | 2.20×2 |
額定風(fēng)量 | m3/h | 2000 | 3000 | 4500 | 6200 | 7800 | 8500 | 11000 | 13500 |
輸入功率 | kw | 12.4 | 14.5 | 19.52 | 2900 | 36.10 | 45.50 | 56.32 | 90.87 |
規(guī)格定制 | 可按照使用現(xiàn)場(chǎng)要求進(jìn)行訂做規(guī)格:制冷量 77.6kW ~ 255.3kW 、 風(fēng)量:15000m3 ~50000m3 的機(jī)型。 |
正島HS系列水冷型恒溫恒濕機(jī)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | 單位 | HS11Q-I | HS15D-I | HS22D-I | HS30D-I | HS35D-I | HS45D-I | HS60D-I | HS72D-I |
制冷量 | kw | 10.8 | 14.5 | 22.0 | 29.5 | 35.0 | 45.0 | 59.5 | 70.0 |
kcal/h | 9300 | 12500 | 19000 | 25400 | 29400 | 38300 | 51200 | 62000 | |
制熱量 | kw | 5.6 | 6 | 9.0 | 12.0 | 12.0 | 21.0 | 27.0 | 36.0 |
kcal/h | 4800 | 6200 | 7700 | 11600 | 15500 | 18100 | 23200 | 31000 | |
冷凝水水量 | t/h | 2.5 | 3 | 5 | 6 | 8 | 9 | 12 | 16 |
加濕量 | kg/h | 3 | 5 | 5 | 8 | 8 | 8 | 13 | 21 |
額定風(fēng)量 | m3/h | 2000 | 3000 | 4500 | 6000 | 7000 | 8000 | 10000 | 13000 |
輸入功率 | kw | 12.40 | 13.2 | 18.4 | 24.3 | 29.2 | 37.9 | 48.4 | 67.8 |
規(guī)格訂制 | 可按照使用現(xiàn)場(chǎng)要求進(jìn)行訂做規(guī)格:制冷量 89.5kW ~ 305kW 、 風(fēng)量:15000m3 ~50000m3 的機(jī)型。 |
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