掃描電子顯微鏡是高性能、功能強大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡用于材料領(lǐng)域,用于生命科學(xué)領(lǐng)域。掃描電子顯微鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級的物鏡設(shè)計，提供高低真空成像功能，可對各種材料表面作分析，并且具有業(yè)界的X射線分析技術(shù)。革命性的的設(shè)計，確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像，同時還可以進行準(zhǔn)確的能譜分析。樣品臺為五軸全自動控制。標(biāo)準(zhǔn)的率無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無污染(免維護)成像分析。

　　掃描電子顯微鏡廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，掃描電子顯微鏡快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。

　　掃描電子顯微鏡的主要性能:

　　一 放大倍數(shù)

　　當(dāng)入射電子束作光柵掃描時，若電子束在樣品表面掃描的幅度為As，在熒光屏陰極射線同步掃描的幅度為Ac，則掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)為:由于掃描電子顯微鏡的熒光屏尺寸是固定不變的，因此，放大倍率的變化是通過改變電子束在試樣表面的掃描幅度來實現(xiàn)的。如果熒光屏的寬度As=100mm，當(dāng)As=5mm時，放大倍數(shù)為20倍，如果減少掃描線圈的電流，電子束在試樣上的掃描幅度見效為Ac=0.05mm，放大倍數(shù)可達2000倍?？梢姼淖儝呙桦娮语@微鏡的放大倍數(shù)十分方便。目前商品化的掃描電子顯微鏡放大倍數(shù)可以從20倍調(diào)節(jié)到20萬倍左右。

　　二 分辨率

　　分辨率是掃描電子顯微鏡的主要性能指標(biāo)。對微區(qū)成分分析而言，它是指能分析的zui小區(qū)域；對成像而言，它是指能分辨兩點之間的zui小距離。分辨率大小由入射電子束直徑和調(diào)制信號類型共同決定。電子束直徑越小，分辨率越高。但由于用于成像的物理信號不同，例如二次電子和背反射電子，在樣品表面的發(fā)射范圍也不相同，從而影響其分辨率。一般二次電子像的分辨率約為5-10nm，背反射電子像的分辨率約為50-200nm。X射線也可以用來調(diào)制成像，但其深度和廣度都遠(yuǎn)較背反射電子的發(fā)射范圍大，所以X射線圖像的分辨率遠(yuǎn)低于二次電子像和背反射電子像。

　　三 景深

　　景深是指一個透鏡對高低不平的試樣各部位能同時聚焦成像的一個能力范圍。掃描電子顯微鏡的末級透鏡采用小孔徑角，長焦距，所以可以獲得很大的景深，它比一般光學(xué)顯微鏡景深大100-500倍，比透射電鏡的景深大10 倍。由于景深大，掃描電子顯微鏡圖像的立體感強，形態(tài)逼真。對于表面粗糙的端口試樣來講，光學(xué)顯微鏡因景深小無能為力，透射電鏡對樣品要求苛刻，即使用復(fù)型樣品也難免出現(xiàn)假像，且景深也較掃描電子顯微鏡為小，因此用掃描電子顯微鏡觀察分析斷口試樣具有其它分析儀器*的優(yōu)點。