原子力顯微鏡的分辨率在納米量級，比光學(xué)衍射極限高1000倍以上。信息是通過用機械探針“感覺”或“觸摸”表面來收集的。壓電元件有助于根據(jù)(電子)命令進行微小但精確的移動，從而實現(xiàn)準(zhǔn)確掃描。可以檢測很多樣品，提供表面研究和生產(chǎn)控制或流程發(fā)展的數(shù)據(jù)，這些都是常規(guī)掃描型表面粗糙度儀及電子顯微鏡所不能提供的。