最終拋光液是為了去除金剛石拋光步驟后留下的最后一層表面變形/劃痕。針對不同的材料類型和制備分析要求，標(biāo)樂有多種氧化物拋光介質(zhì)可供選擇。

終拋液是否會結(jié)晶？

終拋液在使用過程中有可能結(jié)晶，懸浮液由于結(jié)晶溫度較低且容易蒸發(fā)，并可能在拋光表面形成難以去除的晶體。這在MasterMet等常規(guī)二氧化硅懸浮液中很常見，但也有不結(jié)晶的終拋液，如 MasterMet 2。在使用常規(guī)二氧化硅懸浮液拋光后，建議立即清洗拋光布，以防結(jié)晶。非結(jié)晶型二氧化硅懸浮液則不用擔(dān)心二氧化硅的結(jié)晶，因此清潔要求較低，使用過程中具有一定的優(yōu)勢，尤其在振動拋光時。

下圖(a)顯示了常規(guī)二氧化硅在低速清洗拋光后幾秒鐘的再結(jié)晶效果。

懸浮液在表面形成了一個玻璃層，在隨后的清潔過程中往往會裂開，造成輕微的劃痕，并在表面嵌入二氧化硅污染物。

上圖(b)顯示了放置幾分鐘的終拋液滴，以進(jìn)一步說明蒸發(fā)效應(yīng)和隨后的再結(jié)晶。MasterMet和MasterPrep都會結(jié)晶，建議在拋光后立即清洗樣品和拋光布，所以在終拋最后10-15秒用水邊拋光邊沖洗。

用水沖洗表面也有助于保證拋光布的表面清潔，確保拋光布有更長的使用壽命。

終拋液使用量？

氧化物拋光懸浮液通常用在柔軟絨毛拋光布或無紡拋光布上，如MicroFloc、MicroCloth、MasterTex或ChemoMet等。

使用時確保拋光布的表面被懸浮液充分浸潤，柔軟絨毛拋光布或無紡拋光布在使用過程中能保留足夠的液體，以確保拋光效果。

下圖中展示了確保拋光性能的氧化物拋光液理想用量（保證潤濕性）。

清潔注意事項？

強烈建議在最后拋光步驟的最后10-15秒，通過用水沖洗表面來預(yù)清潔樣品和拋光布，如下圖所示。

用水沖洗表面有助于去除拋光布表面和樣品上的氧化物拋光介質(zhì)。這樣做的好處是通過表面干凈的拋光布來確保拋光的可重復(fù)性，同時也提高了拋光布的使用壽命。

在儲存拋光布之前，還要用水進(jìn)行一次人工清洗。最后的手工清潔可以使用一個小的塑料刮刀或木質(zhì)攪拌棒，當(dāng)水在旋轉(zhuǎn)的拋光布上沖刷時，刮掉殘余的氧化物懸浮物（轉(zhuǎn)速最好≤200rpm）。洗凈后的拋光布在支架上晾干后存儲。

當(dāng)使用氧化鋁懸浮液和粉末時，清洗后的拋光布表面仍會殘留少量氧化鋁顆粒，拋光布使用時間越長越明顯。

即使經(jīng)過良好的清潔，在最后的拋光階段后也會出現(xiàn)上圖這種情況，此屬正常，所以在使用前，特別是在最后步驟前如拋光布是干的，建議用水重新清潔拋光布，可使用標(biāo)樂拋光機自帶的“一鍵清洗"功能進(jìn)行清潔，然后再開始拋光。

存儲注意事項？

懸浮液

·懸浮液應(yīng)儲存在陰涼和干燥的地方，避免陽光直接照射；

·氧化鋁懸浮液，如MasterPrep在不使用時會發(fā)生沉淀，建議在使用前充分搖晃；

·建議在使用懸浮液之前清潔瓶口（MasterMet 2除外）。由于氧化物拋光介質(zhì)的再結(jié)晶作用，瓶口及瓶蓋會出現(xiàn)結(jié)晶顆粒，在使用過程中會造成劃痕。

拋光布

·拋光布須小心存放，以防止碎片或顆粒污染拋光表面；

·避免將拋光布放在工作臺上，不使用時要收好；

·為你的拋光布準(zhǔn)備一個專門的存儲柜。

怎么選擇拋光時長？

對于大多數(shù)金屬材料，推薦拋光時長為2分鐘。即使在低力值的情況下，也能很好地平衡減少拋光假象，如邊緣倒圓。對于對于某些特定材料，如鈦合金等，建議選擇更長時間，但是微觀結(jié)構(gòu)特征上的邊緣倒圓會變得很明顯。對于陶瓷材料，建議延長拋光時間，因為與金屬材料相比，這些材料的硬度更高。另需注意的是，前面的制備過程中產(chǎn)生的異常較大劃痕不會在這一步驟中被去除。

振動拋光 VibroMet™ 2

振動拋光通常是為了消除在研磨拋光機上進(jìn)行機械拋光后的剩余表面變形。振動拋光適用于大多數(shù)材料，可使用氧化鋁或二氧化硅懸浮液進(jìn)行至少半小時的振動拋光。值得注意的是，與傳統(tǒng)的研磨拋光機相比，振動拋光機的拋光速度較慢，根據(jù)材料的類型，需要較長的拋光時間。常用的拋光液是二氧化硅懸浮液（最好是不結(jié)晶型的MasterMet 2），拋光布選用絨毛材質(zhì)。

侵蝕拋光的樣品

對于某些材料，氧化物拋光懸浮液可以與腐蝕劑混合，以幫助溶解難以去除的次表面變形區(qū)域。這適用于密排六方（HCP）材料，如鈦、鋯、鉿等，該方法通過將腐蝕劑添加到硅基氧化物懸浮液（主要方法）或氧化鋁基懸浮液上，被稱為侵蝕拋光過程。