半導(dǎo)體和電子元件制造商在其質(zhì)量控制流程使用工業(yè)顯微鏡。 顯微鏡可以用于檢測缺陷以及目標(biāo)規(guī)格的偏離,例如:
· PCB中元件的錯誤定位
· 半導(dǎo)體晶圓上可帶來短路風(fēng)險(xiǎn)的導(dǎo)電污染物
· 相機(jī)傳感器和屏幕上的死像素
顯微鏡也用于驗(yàn)證這些復(fù)雜的元件是否符合國際標(biāo)準(zhǔn)。 在顯微鏡下觀察內(nèi)存芯片和微處理器半導(dǎo)體的技術(shù)細(xì)節(jié),可確保可靠的檢查。
質(zhì)量控制流程不僅成本高,而且耗時。因此,制造商不斷在尋求優(yōu)化其質(zhì)控方法和提高效率的方式。 選擇正確的軟件控制質(zhì)量控制用顯微鏡,可以極大地提高他們的底線。 其中更為重要的是,軟件必須易用,并可提高工作流程指導(dǎo),從而確??煽康慕Y(jié)果和可重復(fù)的測量,無論操作員的經(jīng)驗(yàn)如何。
使用我們的半導(dǎo)體檢測解決方案控制質(zhì)量控制的成本
PRECiV軟件可優(yōu)化多個用戶的產(chǎn)品檢查流程,不僅可以加快檢測速度,而且可以標(biāo)準(zhǔn)化顯微鏡的操作,從而提高結(jié)果的可重復(fù)性。 以下是PRECiV軟件能夠協(xié)助您控制質(zhì)量控制成本的5種方式:
1. 輕松易用的系統(tǒng)縮短了缺陷檢測時間
簡潔、對用戶友好的軟件界面讓顯微鏡下的圖像采集和數(shù)據(jù)記錄變得更加輕松,即使對無經(jīng)驗(yàn)的用戶來說也是如此。
PRECiV軟件為質(zhì)量控制檢查員提供了直接可用的多種2D計(jì)數(shù)和測量工具組合。 用于缺陷測量的基礎(chǔ)工具包括距離、面積、直徑、角度和坐標(biāo),另外還有其他工具:
· 檢測邊緣模式,用于快速定義測量起點(diǎn)和終點(diǎn)(使用對比度檢測)。
· 關(guān)聯(lián)對象模式,僅需輕輕點(diǎn)擊幾次即可重復(fù)利用現(xiàn)有的測量。
· 導(dǎo)出測量結(jié)果按鈕,用于直接以所需格式導(dǎo)將結(jié)果導(dǎo)出到共享驅(qū)動器。
2. 簡化了大型半導(dǎo)體和電子元件的完整檢查
PRECiV軟件提供對兼容顯微鏡、電動物鏡轉(zhuǎn)盤和顯微鏡相機(jī)的集成控制,包括短波紅外(SWIR)技術(shù)。 它的實(shí)時采集工具進(jìn)一步擴(kuò)展了您的成像功能,允許您檢查大型半導(dǎo)體晶圓和電子元件。
自動聚焦的全景圖像
采集手動顯微鏡視野之外的聚焦圖像只是PRECiV軟件增強(qiáng)測量功能的示例之一。 在電動顯微鏡上,您也可使用即時模式并按一下按鈕即可激活以下自動功能:
· EFI(景深擴(kuò)展圖像):獲取一個樣品的不同高度上的多張焦點(diǎn)面圖像并合成一張全聚焦圖像。
· 全景:可使您在整個樣品上移動載物臺,然后再將采集的圖像拼接成一張大圖像。
· 全景和 EFI:在載物臺移動的同時自動重建全景圖像。 彩色框指示質(zhì)量。 如果圖像未聚焦,用戶可隨時重新聚焦圖像。
自上而下半導(dǎo)體檢測的多個觀察選項(xiàng)
PRECiV軟件對用戶非常友好,所以檢查員僅需略微培訓(xùn)即可使用明場、暗場、MIX(明暗場結(jié)合)、偏光成像方式以及微分干涉(DIC)觀察方法采集和分析圖像。 軟件對于第三方SWIR相機(jī)的集成控制,也允許用戶檢查帶有SWIR波長范圍涂層的光學(xué)元件。
3. 優(yōu)化您的材料測量工作流程
為了標(biāo)準(zhǔn)化和提高檢查流程的效率,PRECiV軟件提供專用的材料解決方案工作流程。 經(jīng)驗(yàn)不同的用戶都會發(fā)現(xiàn)這些步驟不僅直觀而且簡單:
· 手動測量簡單易用,并可在對一系列記錄的圖像進(jìn)行測量時重新載入。
· 可以使用輔助工具和自動邊緣檢測定義復(fù)雜的手動測量,以便在兩點(diǎn)之間進(jìn)行可靠的測量。 *
· 專用可選解決方案中的工作流程步驟(例如顆粒分布、相位分析)為更高的可重復(fù)性而提供了指導(dǎo)。
*在PRECiV Pro和PRECiV Desktop中提供。
4. 通過連接性提高效率
配備PRECiV工作站的質(zhì)量控制團(tuán)隊(duì)可通過數(shù)據(jù)的網(wǎng)絡(luò)共享和設(shè)置來優(yōu)化及標(biāo)準(zhǔn)化其流程:
· 使用每個圖像數(shù)據(jù)文件保存和重新加載圖像條件,包括校準(zhǔn)信息,這些信息保存在圖像(JPEG)文件的標(biāo)題中。
· 保存測量參數(shù)、文件和其他設(shè)置(處理、材料解決方案、注釋等)后,可在任何PRECiV工作站上調(diào)用。
· 定義訪問權(quán)限,僅允許經(jīng)授權(quán)用戶修改系統(tǒng)參數(shù)。
5. 實(shí)現(xiàn)多用戶的整體合規(guī)
PRECiV軟件支持符合晶圓廠和安 全策略的多用戶環(huán)境。 它的自動功能有助于確保顯微鏡的所有校準(zhǔn)和測量都按國際制造規(guī)程執(zhí)行,從而避免操作員的人為錯誤。
· 使用一個經(jīng)校準(zhǔn)具備可追溯的測微臺尺通過軟件的自動倍率校準(zhǔn)功能來檢查光路的校準(zhǔn)。
· 材料解決方案套裝可引導(dǎo)用戶完成符合國際標(biāo)準(zhǔn)的從圖像采集到導(dǎo)出報(bào)告的工作流程。
· 可將所有測量分析導(dǎo)出到Excel文件(直接保存文件)或直接導(dǎo)出到報(bào)告。
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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