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TMC主動(dòng)隔振平臺STACIS III
STACIS® III是一種靈活的高級主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、先進(jìn)的控制算法和*先進(jìn)的壓電致動(dòng)器，通過連續(xù)測量地面活動(dòng)，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來過濾地面運(yùn)動(dòng)，以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。
STACIS最初設(shè)計(jì)用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中最敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
STACIS III包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的高級控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數(shù)百個(gè)成功的安裝案例，是理想的隔振系統(tǒng)，適用于對振動(dòng)最為敏感的儀器。
TMC主動(dòng)隔振平臺STACIS III的優(yōu)勢
STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍，沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個(gè)系統(tǒng)都在最佳狀態(tài)下運(yùn)行。
*特的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開始減振90％的*越主動(dòng)隔振性能。
主動(dòng)隔振光學(xué)平臺系統(tǒng)STACIS III特征
●最新改進(jìn)型DC-2020數(shù)字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面
●隔振開始于0.6赫茲，1Hz時(shí)達(dá)到40％至70％的隔離率
●頻率2赫茲和更高時(shí)，垂直和水平隔振率大于90％
●降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本，即使有較大外界震動(dòng)設(shè)備也可正常運(yùn)行
●有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz
●獲得眾多用戶的廣泛認(rèn)可和肯定
●6向自由度硬安裝設(shè)計(jì)，無需空氣懸架
●強(qiáng)大的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn)
●point-of-use設(shè)計(jì)方案，與客戶現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無縫兼容
●隨著外部環(huán)境改變，系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動(dòng)情形
●TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動(dòng)消振
●數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）
●提高客戶產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。
●符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)
●最寬的主動(dòng)隔振帶寬，*美的低頻隔振效果
●亞赫茲的主動(dòng)震動(dòng)消除，最主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振
●可堆疊式設(shè)計(jì)
●主動(dòng)硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動(dòng)元件與剛性彈簧相連
●被動(dòng)彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負(fù)載諧振，需要的調(diào)諧非常少，甚至無需調(diào)諧
●由于阻抗不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器
●負(fù)載可達(dá)2000kg
●市場上*美的主動(dòng)隔振系統(tǒng)
性能
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動(dòng)來測試4500磅（2045千克）有效載荷
性能規(guī)格
主動(dòng)自由度 | 6 |
主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被動(dòng)固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz時(shí)的隔振 | ≥90% |
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時(shí)間（減少10:1） | 0.3秒 |
內(nèi)部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每個(gè)隔振器的工作負(fù)載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） | |
高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） | |
剛度（1000磅 / 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
從距離隔振器最大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
主動(dòng)隔振元件 | 最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來自高壓放大器的信號， 其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無需壓縮空氣源） |
振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動(dòng)， 并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓 |
主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動(dòng) |
隔振器尺寸（寬x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm |
隔振器重量 | 75磅（34千克） |
工作溫度 | 50° - 90°F 10° - 32°C |
儲存溫度 | -40° - 130°F -40° - 55°C |
濕度 | 30 - 60% |
系統(tǒng)電源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC；<600 W 符合CE標(biāo)準(zhǔn) |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每個(gè)系統(tǒng)的隔振器數(shù)量 | 至少3個(gè) |
可選附件 | 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩 |
DC-2020控制器規(guī)格
尺寸（寬 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
重量 | 6.3磅（2.9千克） |
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個(gè)通道 |
模擬輸入 | 16個(gè)通道 |
狀態(tài)燈 | 單個(gè)LED |
前面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)串行Micro-USB 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 2個(gè)BNC |
后面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 1個(gè)RS-232 DB-9傳統(tǒng)串行，用于傳統(tǒng)的STACIS 2100隔振器 |
用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 超級終端上的字符菜單 適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI |
STACIS用戶及應(yīng)用領(lǐng)域
1、微電子、半導(dǎo)體
●晶片檢測
●顯微光刻技術(shù)
●掩膜校準(zhǔn)
2、科學(xué)研究、納米技術(shù)
●SEM、TEM
●STEM、SPM
3、激光臺
●生命科學(xué)、藥物研發(fā)
4、工業(yè)應(yīng)用
●精密加工
為什么要選擇主動(dòng)系統(tǒng)？
●從<1Hz開始強(qiáng)烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
●提高質(zhì)量、生產(chǎn)量
●更加細(xì)小特色的成像能力
●前沿研究
●比氣動(dòng)平臺更穩(wěn)定
●滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的*一解決方案
●使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低
主動(dòng)系統(tǒng)為何選擇STACIS
●正中了科研者的的心聲，提供了盡可能*美的無震環(huán)境。
●市場上*美強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。
●目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動(dòng)參數(shù)需要主動(dòng)隔振系統(tǒng)才能滿足。
●STACIS*次發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開發(fā)和安裝了數(shù)以千計(jì)的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。
STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍
穩(wěn)定時(shí)間作為對擾動(dòng)的響應(yīng)，由于*特的串聯(lián)式設(shè)計(jì)，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動(dòng)態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨(dú)立剛性臺面的情況下。
如下優(yōu)勢在業(yè)內(nèi)都是*與倫比的
●STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
●6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB
●從2-3Hz時(shí)，隔振可達(dá)90% (20dB)
專業(yè)的環(huán)境調(diào)查
1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動(dòng)、磁場、聲波
2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證
●完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)
●開具專業(yè)環(huán)境報(bào)告
●提供震動(dòng)、磁場、聲波檢測及解決方案
●TMC基于其廣泛經(jīng)驗(yàn)向用戶推薦實(shí)用性方案
●40多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，業(yè)內(nèi)的*導(dǎo)者
應(yīng)用照片
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