TMC主動消振平臺系統(tǒng)Stage-Base

TMC繼續(xù)在先進技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設(shè)計的主動消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非常快速地穩(wěn)定，以最大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩(wěn)定時間，進一步提高吞吐量，從而為移動平臺應用提供*先進的主動振動和運動消除系統(tǒng)。

TMC主動消振平臺系統(tǒng)Stage-Base 450優(yōu)勢

Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù)。只有TMC可以提供這種*特的高級低頻消振串行型技術(shù)，通過使用音圈電機（VCM），實現(xiàn)了主動移動平臺運動消除。

Stage-Base 450下一代主動控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術(shù)，使用壓電致動器和串行式架構(gòu)中的剛性懸架實現(xiàn)了*越的消振。這實現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)最佳地面隔振，響應于平臺力的初始偏轉(zhuǎn)明顯更小。

規(guī)格

●采用*特的STACIS®技術(shù)

●采用高力、加長行程的壓電致動器

●有效載荷的位置可重復性在微米以內(nèi)

●框架安裝設(shè)計

●6個主動自由度

●可選的VCM前饋和/或反饋

●始于0.6 Hz的主動隔振

●響應平臺運動的快速穩(wěn)定時間

●無軟空氣懸架

●通過USB 2.0實現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數(shù)字控制器

●簡單、堅固且經(jīng)濟高效

性能

應用照片