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TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng) 返回列表頁

參考價(jià)：￥50000 - ￥200000 /件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號
PEPS II
品牌
TMC
廠商性質(zhì)
生產(chǎn)商
所在地
北京市

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更新時(shí)間：2024-12-06 13:46:15瀏覽次數(shù)：781次

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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,電子,航天,制藥,綜合

產(chǎn)地類別

進(jìn)口

價(jià)格區(qū)間

面議

應(yīng)用領(lǐng)域

環(huán)保,電子,航天,制藥,綜合

TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II

PEPS II建立在TMC的*利PEPS（精密電子定位系統(tǒng)）基礎(chǔ)上并對其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器，PEPS II更易于使用，提供了更多功能，還有一個改進(jìn)的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包括機(jī)械高度閥和機(jī)械高度傳感連桿。其應(yīng)用包括需要改善穩(wěn)定時(shí)間和提高產(chǎn)量的半導(dǎo)體制造設(shè)備以及需要最佳噪聲性能和平臺穩(wěn)定性的精密實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II特點(diǎn)

●數(shù)字控制，用戶友好的LCD界面

●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統(tǒng)的非接觸式電動氣動高度控制

●Z軸位置重現(xiàn)性：10微米

●由于消除了傳統(tǒng)機(jī)械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點(diǎn)，從而改善了隔振效果

●氣動前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺運(yùn)動的反應(yīng)

●可以調(diào)整以快速穩(wěn)定由X-Y平臺引起的運(yùn)動

●可選的“VX"功能集成了慣性傳感器，用于主動阻尼垂直隔振器共振

●與“軟塢站"兼容。允許在沒有運(yùn)動安裝的情況下加載/卸載晶圓

●相稱的電子閥門?！伴_關(guān)"或傳統(tǒng)電子閥不會產(chǎn)生脈沖噪聲

●排氣管用于廢氣的清潔處理

●邏輯?？靠刂坪蜖顟B(tài)

規(guī)格

物理尺寸	PEPS II控制器 1.72英寸（43.7mm）高 x 8.0英寸（203mm）寬 x 9.4英寸（240 mm）深
重量	PEPS II控制器：約3.0磅（1.2千克）
環(huán)境（參見EN 61010-1：1993, EN 61010-1/A2: 1995）	僅限室內(nèi)使用，最高2,000米海拔（6560英尺）最大允許溫度范圍：5°C至35°C 最大允許濕度：31°C以下時(shí)為80％，40°C時(shí)線性降至50％相對濕度主電源電壓容差：85 VAC - 240 VAC 過電壓類別：2 污染等級（IEC 664）：2 通風(fēng)要求：兩側(cè)間隙25毫米，上下間隙0毫米
電源要求	電源輸入電壓范圍：90-230 VAC 輸入頻率范圍：50-60 Hz
PEPS II用戶界面（前面板）	電源開關(guān) 4個菜單按鈕 LCD顯示20 x 2個字符 2個診斷插座（BNC型）三色狀態(tài)指示燈 USB 端口
PEPS II 界面（后面板）	帶EMI濾波器的交流電源輸入 1個空氣輸入卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道 1個空氣輸出（排氣）卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道 4個空氣卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道（每個隔振器一個） DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座 1個Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭（垂直接近傳感器） 1個Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭（水平接近傳感器）接地螺紋螺柱（＃10-32螺紋） DB-25 F插座：1個數(shù)字輸入端，3個地震檢波器傳感器接口（“-VX"選件） DB-25 F插座：1個數(shù)字輸入端，3個電流輸出接近傳感器（可選）
PEPS II 性能規(guī)格	模擬輸入（單極）：8 x 12位（16位使用過采樣），0 ... 3.0 V滿量程模擬輸入（前饋）：5 x 12位（16位使用過采樣），±9 V滿量程模擬輸入（單極）保護(hù)：+5伏，-0.5 V限幅模擬輸入（前饋）保護(hù)：±15伏限幅模擬輸出：4 x 12位（16位使用采樣），0 ... 3.0 V滿量程模擬輸出（可選）：8 x 16位，0 ... 3.0 V滿量程模擬輸出保護(hù)：無限短路保護(hù)，+5伏限幅數(shù)字輸入電壓額定值：0 ... +3.3 V，+5 V容差（+5伏限幅）數(shù)字輸出額定值：0 ... + 3.3 V，最大20 mA 數(shù)字I/O保護(hù)：+5伏，-0.5伏限幅外部可用電源：+5 VDC，最大2.0 A；+15 VDC，最大1.0 A（最大20瓦）通訊端口：USB，在PC上顯示為RS-232 處理器：ARM7TDMI / 41.78 MHz 控制回路率：100 Hz - 2.0 KHz 接近傳感器：3個垂直、（3個水平可選）渦流，NAMUR 0-20 mA輸出速度傳感器 - 地震檢波器（“-VX"選件）：3個垂直，電流輸出
氣動規(guī)格	長期高度穩(wěn)定性：±50微米長期傾斜穩(wěn)定性：±50微弧度伺服閥：4 x 雙向可變節(jié)流孔比例伺服閥閥門技術(shù)：純甲類最大輸入壓力：120 PSI或8.3巴或830 KPa 標(biāo)稱耗氣量：60標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘（2標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘）空氣要求：潔凈、干燥的空氣，過濾至20微米或以上故障安全：隔振器在電源故障或斷電時(shí)會放氣氣動接頭：“一觸式"快速接頭，適用于1/4英寸外徑軟管