高精度微型六維位移臺(tái)

昊量光電設(shè)備有限公司推出的六足位移平臺(tái)是基于線性平臺(tái)模組開發(fā)的六維運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。該平臺(tái)可提供六個(gè)自由度控制（XYZ和繞三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)）。與常規(guī)的六足平臺(tái)相比該平臺(tái)，該平臺(tái)體積更緊湊，擁有較高的剛度和較低的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量，并且客戶可以自定義虛擬運(yùn)動(dòng)軸點(diǎn)。

由于平臺(tái)均采用模塊化設(shè)計(jì)，因此其運(yùn)動(dòng)尺寸和作用力可以根據(jù)需求的不同做定制，行程可從幾厘米到一米，分辨率可達(dá)到納米量級(jí)。

產(chǎn)品擁有以下特點(diǎn)：

1）擁有六個(gè)自由度

平臺(tái)是一個(gè)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)納米操作系統(tǒng)，不同于常規(guī)的堆疊設(shè)計(jì)，該平臺(tái)由多個(gè)線性平臺(tái)同時(shí)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)。定位器的平行設(shè)置優(yōu)化了整個(gè)系統(tǒng)的剛度，并允許控制所有六個(gè)自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋轉(zhuǎn)）

2）用戶可自定義軸心點(diǎn)

可自由設(shè)置軸心點(diǎn)，可繞空間任意一點(diǎn)旋轉(zhuǎn)

3）多選項(xiàng)

高&超高真空兼容

非磁材料

抗紫外線材料

4）高分辨率和重復(fù)精度

無(wú)反向空回的機(jī)械設(shè)計(jì)使該系統(tǒng)與線性平臺(tái)有相同的量級(jí)的性能，分辨率可達(dá)到1nm和1μrad，X,Y,Z的雙向可重復(fù)性可達(dá)到200nm，旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度可達(dá)10μrad，對(duì)于小行程重復(fù)精度會(huì)更高。

上海昊量提供的六維調(diào)節(jié)架主要包含以下幾款產(chǎn)品。

Positioner Series		70.42	115.25	110.45	225.75	P-SLC-17	P-SLC-24	P-SLL	Wafer-2000
Picture
Travel  (mm)	X	10	11	20	41	48	79 to 119	20 to 1200	200
	Y	10	11	20	41	28 to 48	45 to 119	45 to 119	200
	Z	5	5	11	21	≤9	≤12	≤16	10
Rotation(°）	Qx	14	18	21	20	≤28	≤31	≤42	6
	Qy	16	20	24	23	≤26	≤27	≤33	7
	Qz	28	37	38	41	≤20	≤42	≤42	24
repeatability forfull travel range	nm	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200
	μrad	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10
max. vertical load [N]		5	5	5	10	5	10	10	20
max. horizontal load [N]		2.5	2.5	2.5	5	2.5	5	5
dimension [mm2]		F70	F115	F110	F225	110´50	110´90	250´80	420´430

高精度微型六維位移臺(tái)