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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
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光電流成像光譜系統(tǒng)
Nanobase的光電流成像系統(tǒng)XperRam Photocurrent Mapping system 利用了顯微成像掃描技術(shù),對樣品表面做一個(gè)快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到電流源表,再顯示在軟件界面,做成成像圖顯示樣品表面電流分布。
光電流成像光譜系統(tǒng)Photocurrent Mapping System 又稱為掃描光電流顯微成像系統(tǒng),用來檢測材料光電流強(qiáng)度分布的設(shè)備,主要用來測量光電材料的光電響應(yīng)信號和表征材料的光電特征。XperRam Photocurrent Mapping system 光電流成像系統(tǒng)將光電材料對于光信號響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統(tǒng)可以研究光電探測器的量子效率,器件的電阻分布特征,研究太陽能電池光生電流的不均勻性,研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,以及光電材料界面,半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。
整個(gè)系統(tǒng)的個(gè)構(gòu)成如下圖,包含光源(激光器或者連續(xù)光源),顯微鏡,激光掃描振鏡,數(shù)字源表,探針臺和計(jì)算機(jī)軟件等。激光通過掃描振鏡,擴(kuò)束鏡,經(jīng)過顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)產(chǎn)生光電效應(yīng)(電流),電流信號通過探針引出至電流源表,再讀出至電腦軟件,掃描時(shí),振鏡是通過偏振光控制器控制,激光的光斑再樣品的XY方向上掃描移動(dòng),軟件記錄每一個(gè)激光聚焦光斑的位置和其對應(yīng)的電流值,在軟件的一側(cè),同步描繪出光電流成像圖,顯示了樣品的電流分布。
功能描述
l 光電流成像(Photocurrent Measurement and Imaging )
光電流系統(tǒng)探針臺 三星光電院定制的光電流系統(tǒng)
光電流成像圖和電流計(jì)數(shù)值
簡易光電流平臺(Side plate) Positioner Holder 探針
產(chǎn)品特點(diǎn)
Ø 超快掃描成像(大于1000譜/S)
Ø 超緊湊結(jié)構(gòu)(光電流掃描成像和顯微鏡一體式設(shè)計(jì))
Ø 成本低(客戶僅需要在原來的探針臺或者拉曼設(shè)備上做改造就可以,不需要額外購買平移臺,這是振鏡掃描的優(yōu)勢所在)
Ø 可視化和人性化軟件(定制研發(fā)了電流源表輸出和成像掃描視覺窗口,客戶在一個(gè)界面實(shí)現(xiàn)光電流數(shù)據(jù)和成像mapping的對比比較方便)
Ø 可擴(kuò)展增加其它波長的激光器,增加拉曼光譜,熒光光譜成像系統(tǒng)等
Ø 可增加高低溫恒溫器,鎖相放大器,斬波器等
基本參數(shù)
激光器(光源) | l 可配置1~3個(gè)激光器,窄線寬激光器用于拉曼光譜測試和光電流測試 l 波長范圍: 400~1550nm (典型的為 VIS: 405nm/532nm/633nm, NIR :1550nm) l 可選配一個(gè)光纖接口用于接入外部激光器光源 l 可選配超連續(xù)譜白光激光器(400nm~2400nm) |
顯微鏡 | l 奧林巴斯顯微鏡:BX61 (正置)(可根據(jù)客戶要求選配) l 反射式/透射式LED照明 l 物鏡:標(biāo)配(40X, NA=0.75) 選配:多種倍率和超長焦距物鏡 l 透過率:>60% (360nm~1000nm) |
掃描模塊 | l 掃描面積:200um×200um l 掃描精度: 小于10nm l 步進(jìn):<50nm l 掃描速度:>1000 譜/秒 |
電流 | l 測量范圍:1pA – 1A l 準(zhǔn)確度: 0.04% l 電流源表:Keithley 2400 |
探針臺 | l 可根據(jù)客戶要求定制 |
其它 | l 低溫恒溫器(2.2K)/高溫?zé)崤_(1500℃) l 根據(jù)客戶要求定制探針臺 l 可選配斬波器,前置放大器,鎖相放大器等提高系統(tǒng)靈敏度 |
探針臺參數(shù):
探針臺 | 6寸真空吸附卡盤, |
光譜范圍 | 750px-1到150000px-1 |
XY方向移動(dòng)范圍 | 150 x 150mm, 分辨率5um FOV:200µm x 200µm@40X物鏡 |
Z方向移動(dòng)范圍 | 上/下10mm, 分辨率1um |
探針頭 | 金,鎢 |
高精度定位器 | PH-C15, 10fA leakage current 4SET |
應(yīng)用領(lǐng)域
石墨烯,二維材料,半導(dǎo)體工業(yè),結(jié)晶度分析,太陽能電池,儲能材料,探測器光電性能檢測,晶圓體分析,探測器檢測,器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性。
相關(guān)文獻(xiàn)
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