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更新時(shí)間：2021-06-02 09:46:18瀏覽次數(shù)：2485評(píng)價(jià)
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光電流成像光譜系統(tǒng)
Nanobase的光電流成像系統(tǒng)XperRam Photocurrent Mapping system 利用了顯微成像掃描技術(shù)，對(duì)樣品表面做一個(gè)快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號(hào)通過(guò)探針引到電流源表，再顯示在軟件界面，做成成像圖顯示樣品表面電流分布。
光電流成像光譜系統(tǒng)Photocurrent Mapping System 又稱(chēng)為掃描光電流顯微成像系統(tǒng)，用來(lái)檢測(cè)材料光電流強(qiáng)度分布的設(shè)備，主要用來(lái)測(cè)量光電材料的光電響應(yīng)信號(hào)和表征材料的光電特征。XperRam Photocurrent Mapping system 光電流成像系統(tǒng)將光電材料對(duì)于光信號(hào)響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來(lái)。該系統(tǒng)可以研究光電探測(cè)器的量子效率，器件的電阻分布特征，研究太陽(yáng)能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，以及光電材料界面，半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。
整個(gè)系統(tǒng)的個(gè)構(gòu)成如下圖，包含光源（激光器或者連續(xù)光源），顯微鏡，激光掃描振鏡，數(shù)字源表，探針臺(tái)和計(jì)算機(jī)軟件等。激光通過(guò)掃描振鏡，擴(kuò)束鏡，經(jīng)過(guò)顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)產(chǎn)生光電效應(yīng)（電流），電流信號(hào)通過(guò)探針引出至電流源表，再讀出至電腦軟件，掃描時(shí)，振鏡是通過(guò)偏振光控制器控制，激光的光斑再樣品的XY方向上掃描移動(dòng)，軟件記錄每一個(gè)激光聚焦光斑的位置和其對(duì)應(yīng)的電流值，在軟件的一側(cè)，同步描繪出光電流成像圖，顯示了樣品的電流分布。
功能描述
l 光電流成像（Photocurrent Measurement and Imaging ）
光電流系統(tǒng)探針臺(tái) 三星光電院定制的光電流系統(tǒng)
光電流成像圖和電流計(jì)數(shù)值
簡(jiǎn)易光電流平臺(tái)（Side plate） Positioner Holder 探針
產(chǎn)品特點(diǎn)
Ø 超快掃描成像（大于1000譜/S）
Ø 超緊湊結(jié)構(gòu)（光電流掃描成像和顯微鏡一體式設(shè)計(jì)）
Ø 成本低（客戶(hù)僅需要在原來(lái)的探針臺(tái)或者拉曼設(shè)備上做改造就可以，不需要額外購(gòu)買(mǎi)平移臺(tái)，這是振鏡掃描的優(yōu)勢(shì)所在）
Ø 可視化和人性化軟件（定制研發(fā)了電流源表輸出和成像掃描視覺(jué)窗口，客戶(hù)在一個(gè)界面實(shí)現(xiàn)光電流數(shù)據(jù)和成像mapping的對(duì)比比較方便）
Ø 可擴(kuò)展增加其它波長(zhǎng)的激光器，增加拉曼光譜，熒光光譜成像系統(tǒng)等
Ø 可增加高低溫恒溫器，鎖相放大器，斬波器等
基本參數(shù)
激光器（光源） | l 可配置1~3個(gè)激光器，窄線寬激光器用于拉曼光譜測(cè)試和光電流測(cè)試 l 波長(zhǎng)范圍： 400~1550nm （典型的為 VIS: 405nm/532nm/633nm, NIR :1550nm） l 可選配一個(gè)光纖接口用于接入外部激光器光源 l 可選配超連續(xù)譜白光激光器（400nm~2400nm） |
顯微鏡 | l 奧林巴斯顯微鏡：BX61 （正置）（可根據(jù)客戶(hù)要求選配） l 反射式/透射式LED照明 l 物鏡：標(biāo)配（40X， NA=0.75） 選配：多種倍率和超長(zhǎng)焦距物鏡 l 透過(guò)率：＞60% （360nm~1000nm） |
掃描模塊 | l 掃描面積：200um×200um l 掃描精度： 小于10nm l 步進(jìn)：＜50nm l 掃描速度：＞1000 譜/秒 |
電流 | l 測(cè)量范圍：1pA – 1A l 準(zhǔn)確度： 0.04% l 電流源表：Keithley 2400 |
探針臺(tái) | l 可根據(jù)客戶(hù)要求定制 |
其它 | l 低溫恒溫器（2.2K）/高溫?zé)崤_(tái)（1500℃） l 根據(jù)客戶(hù)要求定制探針臺(tái) l 可選配斬波器，前置放大器，鎖相放大器等提高系統(tǒng)靈敏度 |
探針臺(tái)參數(shù)：
探針臺(tái) | 6寸真空吸附卡盤(pán)， |
光譜范圍 | 750px-1到150000px-1 |
XY方向移動(dòng)范圍 | 150 x 150mm, 分辨率5um FOV：200µm x 200µm@40X物鏡 |
Z方向移動(dòng)范圍 | 上/下10mm, 分辨率1um |
探針頭 | 金，鎢 |
高精度定位器 | PH-C15, 10fA leakage current 4SET |
應(yīng)用領(lǐng)域
石墨烯，二維材料，半導(dǎo)體工業(yè)，結(jié)晶度分析，太陽(yáng)能電池，儲(chǔ)能材料，探測(cè)器光電性能檢測(cè)，晶圓體分析，探測(cè)器檢測(cè)，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性。
相關(guān)文獻(xiàn)
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