皮米精度位移激光干涉儀

 昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進行量測的理想儀器，基于其*的測量原理，相對距離的重復(fù)精度達到了50皮米。quDIS可同時支持三個測量通道，使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準(zhǔn)參考，通過激光波長調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的絕對距離測量，基于這種測量方式，使得quDIS相對其他產(chǎn)品測量距離可以達到20M的同時保持高精度，且與信號對比度和強度無關(guān)，由于使用整個干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中提取得到。

皮米精度位移激光干涉儀產(chǎn)品特點：

•  多維度多通道位移干涉器，操作簡單，即插即用

•  相對距離和絕對距離測量

•  完善的全套系統(tǒng)配置

•  實時輸出數(shù)字化圖像

•  針對不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

•  長期使用保證穩(wěn)定性

•  兼容真空與各種惡劣環(huán)境

皮米精度位移激光干涉儀*優(yōu)勢：

•  絕對距離高精度測量！

•  不存在非線性及周期性誤差！

•  相對距離信號穩(wěn)定性<0.05nm！

•  工作距離最大20m（與傳感頭相關(guān)）

•  目標(biāo)最大速度1m/s

•  三個傳感接口，可實現(xiàn)多設(shè)備同步

•  探測器分辨率達到1pm

皮米精度位移激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域：

•   極限環(huán)境下振動分析

•   緩慢漂移及熱膨脹檢測

•   精密設(shè)備位置控制

•   納米級位移測量

•   層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測量

•   位移和振動精度評估

   

皮米精度位置測量儀參數(shù)列表：