昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應(yīng)用提供qian所wei有的速度和分辨率。模塊化設(shè)備結(jié)合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學(xué)設(shè)備，集成了遠(yuǎn)心成像光學(xué)優(yōu)化DLP芯片組。

這款DMD光刻光源為基于DLP技術(shù)的具有挑戰(zhàn)性的曝光應(yīng)用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強(qiáng)度和多波長光譜的設(shè)置非常適合。數(shù)值孔徑為0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均勻性、這些構(gòu)成DLP-芯片曝光的wan美解決方案。

DLP/DMD照明器提供高達(dá)30W的光輻射功率。單波長和多波長設(shè)置可供選擇（365nm、385nm、395nm、405nm）。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當(dāng)、但具有LED技術(shù)的壽命和總成本優(yōu)勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設(shè)計(jì)的、可以輕松集成到基于DMD的系統(tǒng)中。

DLP/DMD 光刻照明光源產(chǎn)品亮點(diǎn)：

• 專為DLP®9000和DLP®9500設(shè)計(jì)

• 包括高性能LED驅(qū)動(dòng)器、便于控制和編程

• 高強(qiáng)度性能能夠縮短/減少處理時(shí)間

• 由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑

• 不會過時(shí)的無汞光源

  
  

DLP/DMD 光刻照明光源產(chǎn)品規(guī)格：

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