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低溫泵在超高真空爐中作用
閱讀：2762 發(fā)布時間：2018-1-22
將低溫泵并入真空系統(tǒng)中，達(dá)到清潔的超高真空環(huán)境。真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項，低溫泵的選型計算，安裝、使用和維護等環(huán)節(jié)。通過嚴(yán)格把關(guān)各研發(fā)環(huán)節(jié)，按照超高真空規(guī)范進行清洗，近年來無油真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)為代表的領(lǐng)域被引進并廣泛應(yīng)用。
作為完整的抽氣系統(tǒng)，低溫泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機?，F(xiàn)在得到廣泛應(yīng)用的都是制冷機式低溫泵，其核心是低溫制冷機。
抽氣面就可以冷凝沸點溫度較低的氣體，從而抽出大量的氣體。這種利用低溫抽氣面將氣體冷凝的抽氣泵叫低溫泵，或冷凝泵。是利用低溫介質(zhì)降低表面溫度后將氣體冷凝、將被抽空間的壓力降低，而獲得真空或維持真空狀態(tài)的裝置。
選擇低溫泵的優(yōu)勢有：
1、抽氣范圍寬，可快速獲得理想的超高真空環(huán)境，對被抽氣體無選擇，雜質(zhì)顆粒而不影響系統(tǒng)工作；
2、可以任意角度安裝，沒有運動部件，不需要前級泵，運行和維護成本低；與口徑相同的其它真空泵相比，低溫泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；
3、壓縮機斷水后可以自保護，所以可以實現(xiàn)無人值守。