青島電子工廠中潔凈室的幾種型式

         近年來(lái)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室有多種形式，根據(jù)在電子工廠中已實(shí)際應(yīng)用的各種類型的潔凈室形式進(jìn)行簡(jiǎn)單描述。

     1根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，空氣潔凈度等級(jí)和平面或空間布置要求，微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式、開放式、島形布置。如集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5〞6〞芯片制造廠，生產(chǎn)工藝設(shè)備跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格，而維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)較低。目前8〞12〞芯片制造工廠普遍采用開放式潔凈室加微環(huán)境的方式，將芯片制造過(guò)程對(duì)空氣潔凈室的潔凈度等級(jí)只需要5-6級(jí)，這種潔凈室形式即可做到工藝布置的靈活性，又可做到減少建設(shè)投資和降低能量消耗、降低運(yùn)行費(fèi)用等。

     2按氣流流型劃分潔凈室時(shí)，可劃分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。1）單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2）多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱貨循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可以一層或二層。

         青島電子工廠中潔凈室的幾種型式，非單向流潔凈室是采用非單向流氣流流型的潔凈室，主要用于空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)的潔凈室，此類潔凈室當(dāng)單側(cè)回風(fēng)室其寬度一般不大于6m。混合流潔凈室是在同一潔凈室內(nèi)，同時(shí)存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。