本儀器主要用于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況

時(shí)間：2018/9/6閱讀：1009

本儀器主要用于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況，以便硅材料的切割和。

為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展，別是計(jì)算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展，越來(lái)越多的使用到了大直徑、純度、均勻度更的單晶硅材料。目前，在美、德等的業(yè)家，均采用了二探針?lè)?，使用二探針檢測(cè)儀來(lái)測(cè)量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。

儀器符合美ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測(cè)量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn)，是種新型的半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀，適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針?lè)y(cè)量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率，從而步判斷半導(dǎo)體材料的性能，導(dǎo)和監(jiān)視操作，也可以用來(lái)測(cè)量金屬材料的電阻，儀器具有測(cè)量度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、型美觀等點(diǎn)。也可以配四探針測(cè)試頭作常規(guī)的四探針?lè)y(cè)量硅晶體材料。

儀器分為儀表電氣控制箱、測(cè)試臺(tái)、探頭三分，儀表電氣控制箱由靈敏度直數(shù)字電壓表、抗干擾隔離性能的電源變換裝置、穩(wěn)定度恒源和電氣控制分組成。測(cè)量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示，零位穩(wěn)定、輸入阻抗，并設(shè)有自校能。在棒狀材料使用二探針?lè)y(cè)試時(shí)，具有系數(shù)修正能，從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù)，可以直接讀出電阻率，使用方便。測(cè)試臺(tái)結(jié)構(gòu)新穎，型美觀，可以方便地固定好大小意尺寸的樣品，并可以作逐點(diǎn)選擇步測(cè)量，也可以自由選擇固定位置測(cè)量，電活動(dòng)自如，具備鎖定裝置，方便重復(fù)測(cè)量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅，測(cè)試探頭能自動(dòng)升降，探針為碳化鎢材料，配置寶石軸承，具有測(cè)量度、游移率小、耐磨、使用壽命長(zhǎng)點(diǎn)。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調(diào)整，以適合不同的材料。

本儀器主要用于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況

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