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技術(shù)文章

CKD工藝氣體用減壓閥PGM系列性能介紹可作為選型依據(jù)

閱讀:906          發(fā)布時間:2023-2-13

CKD的工藝氣體減壓閥擁有專業(yè)密封性能、滯后性和重復(fù)性。


產(chǎn)品特點


使用示例

高耐腐蝕?高品質(zhì)材料

優(yōu)化設(shè)計

高密封性

高微小流量控制性

減少遲滯

豐富的產(chǎn)品陣容

使用示例


蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制

壓力控制·減壓

image.png


壓力穩(wěn)定化

image.png




● 采用高耐腐蝕材料

● 實施電解研磨、超精密加工、超精密清洗


image.png.

02 優(yōu)化設(shè)計




●盡量減少滑動部

● 膜片結(jié)構(gòu)的優(yōu)化

● 優(yōu)化材質(zhì),實現(xiàn)平穩(wěn)動作



03 高密封性




有助于工藝穩(wěn)定化。

● 閥座部的優(yōu)化設(shè)計和超精密加工

● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側(cè)泄漏(流出)


image.png

04 高微小流量控制性




實現(xiàn)穩(wěn)定且平穩(wěn)的動作

● 閥座部形狀的優(yōu)化設(shè)計

● 微小流量下也可穩(wěn)定控制


image.png

05 減少遲滯




安全滿足目標壓力。

● 采用高品質(zhì)材料

● 超精密加工


image.png

06 豐富的產(chǎn)品陣容

image.png





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