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橢圓偏振測(cè)厚儀

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橢圓偏振測(cè)厚儀 型號(hào): SGC-2 
產(chǎn)品簡介  
可用于測(cè)量單層非金屬的所有鍍膜的厚度測(cè)量。測(cè)量范圍:1nm~4000nm 包含主機(jī)一臺(tái),全部USB接口全自動(dòng)測(cè)量。同時(shí)測(cè)量鍍膜和折射率多種數(shù)據(jù)處理方法軟件。(不包含計(jì)算機(jī))  
詳細(xì)介紹  
o儀器測(cè)量精度:在10nm處誤差為±0.5nm;   
o光學(xué)中心高度:75㎜;   
o允許樣品尺寸直徑:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;   
o外形尺寸:730 x230X 290;   
o主機(jī)重量:30kg;測(cè)量范圍:1nm~4000nm;   
o測(cè)量Z小值:≤1nm;   
o鍍膜折射率范圍:1.3 ~ 2.49   
o入射角:40°~90°  誤差≤0.05°;   
o偏振器方位角范圍:0°~180°;   
儀器測(cè)量精度:在10nm處誤差為±0.5nm; 光學(xué)中心高度:75㎜;   
允許樣品尺寸直徑:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;   
外形尺寸:730 x230X 290;   
主機(jī)重量:30kg;  
偏振器步進(jìn)角:0.0375°/步;  


本儀器分為光源、接收器、主機(jī)、電子及通訊四部分,外觀參看右圖。  
1、 光源:采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點(diǎn)是:光強(qiáng)大、光譜純、波長穩(wěn)定性好。  
2、 接收器:采用光電倍增管⑤,把光訊號(hào)變?yōu)殡娪嵦?hào),經(jīng)放大后輸出至微機(jī),由微機(jī)選擇出消光位置的角度值。  
3、 主機(jī)部分:除以上兩項(xiàng)外,還有起偏組件②,樣品臺(tái)③,檢偏組件④。  
4、電子及通訊部分⑥:采集光強(qiáng)及對(duì)應(yīng)的角度值并傳輸?shù)接?jì)算機(jī),再接收由計(jì)算機(jī)發(fā)出的指令逐步靠近消光點(diǎn)。

 

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