三維表面形貌測(cè)量傳感器技術(shù)參數(shù)
大測(cè)量?jī)A斜角:87°
大掃描高度:25mm
小測(cè)量楔角:20°
小測(cè)量半徑:2µm
小測(cè)量粗糙度(Ra):80nm
小測(cè)量粗糙度(Sa):50nm
垂直分辨率:20nm
位移距離(Z):26mm(自動(dòng)調(diào)節(jié))
三維表面形貌測(cè)量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專(zhuān)門(mén)針對(duì)生產(chǎn)中全自動(dòng)測(cè)量形貌和粗糙度而設(shè)計(jì)的一款光學(xué)三維測(cè)量?jī)x。