自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G4

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G4由奧地利alicona公司研發(fā)生產(chǎn)，是一款用于實(shí)驗(yàn)室研究和生產(chǎn)控制的高分辨率光學(xué)三維表面測(cè)量?jī)x，它將形貌測(cè)量和粗糙度測(cè)量*地結(jié)合在同一個(gè)系統(tǒng)中，垂直分辨率達(dá)10nm。

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G4?的主要功能：

表面形貌測(cè)量

粗糙度測(cè)量

表面紋理測(cè)量

體積測(cè)量

二維圖像測(cè)量

重復(fù)性測(cè)量任務(wù)的編程操作

形狀測(cè)量

偏差測(cè)量

輪廓測(cè)量

刃口測(cè)量

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G4?的技術(shù)參數(shù)：

位移范圍(X、Y、Z軸)：100×100×100mm

樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞10-15nm，Lc=2µm

zui大樣品高度：100mm-240mm

zui大樣品傾斜角：85°

zui大掃描高度：22mm

*垂直分辨率：10nm

zui大掃描面積：10000mm2

zui大單一掃描范圍：100mm

zui小測(cè)量粗糙度（Ra）：30nm

zui小測(cè)量粗糙度（Sa）：15nm

zui小測(cè)量半徑：1µm

zui小測(cè)量角度：20°

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G4?的主要特點(diǎn)：

能夠同時(shí)測(cè)量形貌和粗糙度
能夠測(cè)量小半徑和小角度
能夠測(cè)量超過(guò)80°的斜面
標(biāo)準(zhǔn)真實(shí)的顏色信息
提供360°的形狀和粗擦度測(cè)量
檢測(cè)具有不同表面特征的表面