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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
Hyper MF/MF-U高精度測(cè)量顯微鏡
產(chǎn)品特點(diǎn)
• 實(shí)現(xiàn)了高精度的測(cè)量顯微鏡。(小顯示分辨力0.01um)。
• 主機(jī)的前臺(tái)操作設(shè)計(jì)是基于UD(通用化設(shè)計(jì))的理念。
• 配備三軸電動(dòng)前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。
• 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學(xué)管路或帶內(nèi)置激光自動(dòng)對(duì)焦功能的光學(xué)管路，其觀察方法多種多樣，提高了測(cè)量工作的效率。
• 行程為250×150mm 的大工作臺(tái)可為大工件的測(cè)量提供足夠的空間。
• 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。
• 的數(shù)據(jù)處理裝置QM-Data200 和VisionUnit 可結(jié)合使用，提供有效且穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)
境。
• 晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測(cè)量的需求。
• 電動(dòng)轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能，該功能在更換物鏡時(shí)啟動(dòng)工作。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | HyperMF-B2515B | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B | HyperMF-UE2515B | HyperMF-UF2515B |
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光路 | 有限校正光學(xué)系統(tǒng) — | 無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮視場(chǎng)) | 無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng) BD(亮/暗視場(chǎng)) | 無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮視場(chǎng))帶LAF功能 | 無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮/暗視場(chǎng))帶LAF功能 |
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標(biāo)準(zhǔn)分劃板(內(nèi)置) | 90º點(diǎn)劃線十字線(線寬5μm) |
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可調(diào)瞳距 | 西登托夫型調(diào)節(jié)范圍：51-76mm |
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光路切換比 | 觀察/TV顯微攝影=50/50 |
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垂直傾斜角度 | 25° | 傾斜 |
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TV端口 | 作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供 |
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觀察圖像 | 正像 |
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目鏡 | 放大倍率 | 10X, 15X, 20X |
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物鏡 (可選) |
| 可選單筒目鏡(配有一個(gè)目鏡) 或雙筒目鏡(配有兩個(gè)目鏡) | 配備兩個(gè)10X目鏡 |
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ML系列物鏡 | 1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X | - |
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BF(亮視場(chǎng)) | - | M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo |
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BD(亮/暗視場(chǎng)) | - | BD Plan Apo, BD Plan Apo SL |
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轉(zhuǎn)塔 (可選) | BF(亮視場(chǎng)) | - | (配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器) |
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BD(亮/暗視場(chǎng)) | - | (配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器) |
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聚焦部分 | 大工件高度 | 150mm |
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測(cè)量精度 | (1.5+0.01L) μm L：測(cè)量長(zhǎng)度(mm) |
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驅(qū)動(dòng)方式 | 使用控制手柄進(jìn)行電動(dòng)控制 |
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照明裝置 | 透射照明裝置 | 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素?zé)襞?/span>(12V，50W)，100級(jí)光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明 |
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反射照明裝置 | 科勒照明，可變孔徑光闌機(jī)制，鹵素?zé)襞?/span>(12V，100W)，100級(jí)光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明 |
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工作臺(tái) | 測(cè)量范圍（X*Y） | 250×150mm |
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測(cè)量精度 (X和Y軸無(wú)負(fù)載) | (0.9+0.003L) μm L：測(cè)量長(zhǎng)度(mm) |
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工作臺(tái)尺寸 | 460×350mm |
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載物玻璃有效尺寸 | 300×200mm |
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旋轉(zhuǎn)角度 | ±3º |
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大承重 | 30kg |
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驅(qū)動(dòng)方式 | 使用手柄進(jìn)行電動(dòng)控制 |
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檢測(cè)器 | 高精度光柵尺 |
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數(shù)顯 | 分辨力 | 0.01μm |
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顯示軸 | X, Y, Z |
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數(shù)據(jù)處理裝置 | QM-DATA200或Vision Unit |
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操作部分 | 手柄急停按鈕 | 可用 |
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精細(xì)間距 | 可用 |
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數(shù)據(jù)輸出 | 可用 |
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數(shù)字顯示復(fù)位 | 可用 |
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照明光強(qiáng)度控制 | 可用 |
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LAF（只對(duì)焦） | - | - | 可用 |
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LAF（跟蹤對(duì)焦） | - | - | 可用 |
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轉(zhuǎn)塔控制 | - | 可用 (安裝電動(dòng)轉(zhuǎn)塔時(shí)) |
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更換燈泡時(shí)，鹵素 燈泡用于透射照明 | 標(biāo)準(zhǔn)：02APA527(12V50W) |
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更換燈泡時(shí)，鹵素?zé)?/span> 泡用于反射照明 | 標(biāo)準(zhǔn)：517181(12V100W) |
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高亮度：12BAD602(12V100W) | |||||||||