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FPD/LSI檢查顯微鏡

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更新時間:2019-01-08 16:19:10瀏覽次數(shù):1735

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 進(jìn)口
FPD/LSI檢查顯微鏡ECLIPSE L300N/ L300ND型集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng),在亮度、對比度和可操作性能方面都達(dá)到高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。主機(jī)剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞。

詳細(xì)介紹

 

FPD/LSI檢查顯微鏡

 

 集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng),在亮度、對比度和可操作性能方面都達(dá)到高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

大觀察樣品300 mm晶片

   L300ND/反射.透射照明兩用型

觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);

 

使用CFI60光學(xué)系統(tǒng),*消除耀斑影響,對比度更高,成象更加清晰、明亮;

物鏡齊焦距為60mm,可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求;

主機(jī)剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;

光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞;

    

   

   

技術(shù)參數(shù)

 

ECLIPSE L300N

ECLIPSE L300ND

(落射照明型)

(透射/落射照明型)

主機(jī)

內(nèi)置12V-50W鹵素?zé)艄庠?;?nèi)置用于電動控制器的電源

用于物鏡轉(zhuǎn)換器的電動控制器、鹵素?zé)袅炼瓤刂啤?/span>

光圈葉片控制器

 

物鏡轉(zhuǎn)換器:具備物鏡轉(zhuǎn)換器

對中功能的電動通用六座物鏡轉(zhuǎn)換器

反射/透射切換器

調(diào)焦
部分

對焦部:行程29mm

粗調(diào):12.7mm/轉(zhuǎn)(可扭距調(diào)節(jié).帶重新對焦機(jī)能)

微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn)(um為單位)

反射
照明部

12V50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置

孔徑光闌(電動.可調(diào)心)、視場光闌(固定.帶對焦目標(biāo))

可插入小孔光闌滑塊(OPTION)

可插入25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/檢偏器

觀察方法:明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光

(僅用于L300N/L300ND/L200ND

透射
照明部

12W50W高亮度鹵素?zé)?/span>
照明裝置

內(nèi)置孔徑光闌

內(nèi)置LWD聚光器

接口

USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1

鏡筒

L2-TTA超大視場正立調(diào)傾式三目鏡筒(視角030°

視場數(shù)25、光分光1000/0100

L2-TT2A超大視場正立調(diào)傾式三目鏡筒(俯角030°

視場數(shù)25、光分光1000/2080

LV-T13正立三目鏡筒

視場數(shù)25、光分光1000/0100

目鏡

CFI目鏡

物鏡

CFI60系列物鏡

載物臺

14x12載物臺、行程354mmx302mm

(透射觀察范圍:354mmx268mm

帶粗/微動切換功能

微動手輪位置固定

防靜電
功能

100010V放電時間在0.2秒以內(nèi)

耗電

1.2A/90W

尺寸

360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時)

 

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