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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
金相顯微鏡BX51M
暗視場(chǎng)可以讓用戶觀察來自樣本散射和衍射的光線。光源的光線會(huì)先穿過照明裝置中的環(huán)形光學(xué)照明器件，然后在樣本上聚焦。樣本上的光線只是由Z 軸上的瑕疵反射形成的。因此，用戶可以觀測(cè)到比光學(xué)顯微鏡分辨極限更小的、8 nm 級(jí)的微小劃痕和缺陷。暗視場(chǎng)適合檢測(cè)樣本上的微小劃痕及瑕疵和檢查表面光滑的樣本，包括晶圓。
偏振光觀察法
該顯微觀察技術(shù)所使用的偏振光是由一組濾鏡（檢偏振器和起偏振器）產(chǎn)生的。樣本特征會(huì)直接影響系統(tǒng)反射光的強(qiáng)度。該觀察法適用于觀察金相組織（例，球墨鑄鐵中石墨的生長(zhǎng)圖案）、礦物、LCD 和半導(dǎo)體材料。
微分干涉（DIC）觀察法
DIC 是一種顯微觀察技術(shù)，可以將明視場(chǎng)觀察法中無法檢測(cè)到的高度差異，用增強(qiáng)的對(duì)比度以浮雕或三維圖像的形式表現(xiàn)出來。該項(xiàng)基于偏振光的技術(shù)，擁有三個(gè)專門設(shè)計(jì)的棱鏡可供選擇以滿足用戶的需求。該觀察法適用于檢測(cè)高度差異極其微小的樣本，包括金相組織、礦物、磁頭研磨面和硬盤表面及晶圓研磨面。
熒光觀察法
半導(dǎo)體晶圓上的顆粒
該項(xiàng)技術(shù)適用于觀察那些在受到專門設(shè)計(jì)的濾鏡（可以按照檢測(cè)需要制作）照明時(shí)會(huì)發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長(zhǎng)的光線）的樣本。該方法通過熒光染色，應(yīng)用于觀測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘?jiān)土押鄣臋z測(cè)?？梢蕴砑舆x購的復(fù)消色差光源聚光透鏡系統(tǒng)，從而為可見光到近紅外線范圍內(nèi)的色差進(jìn)行補(bǔ)償。
IR（紅外線）觀察法
硅晶片層下的半導(dǎo)體電路
對(duì)使用了硅片、玻璃等易透射紅外線的電子設(shè)備的內(nèi)部進(jìn)行無損檢測(cè)時(shí)，IR 觀察十分有效。IR 物鏡也可用于近紅外線技術(shù)，如：拉曼光譜儀和YGA 激光修復(fù)應(yīng)用。
處理濾鏡
OLYMPUS Stream 擁有各種濾鏡，可用于邊緣檢測(cè)、平滑處理和其它操作。使用處理濾鏡在拍攝的圖像上進(jìn)行增強(qiáng)和修改處理后，圖像的特征變?yōu)榭梢暬檫_(dá)到適宜效果，可使用預(yù)覽圖檢查或調(diào)整濾鏡的效果。
透射光觀察法
LCD彩色濾鏡
對(duì)于透明樣本，如，LCD、塑料和玻璃材料，可通過使用各種透射光聚光鏡實(shí)現(xiàn)真正的透射光觀察。使用透射光可以在明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、DIC 和偏振光中對(duì)樣本進(jìn)行成像和檢查--所有這些都在一個(gè)便捷的系統(tǒng)里。
自動(dòng)制作3D 圖像（EFI）
硬幣細(xì)節(jié)
使用BX61 或外部電動(dòng)調(diào)焦單元，便可以快速地記錄并組合超出焦深之外的樣本的圖像。只需一鍵操作，使用EFI 功能便可以將各個(gè)不同焦深的圖像合成一幅3D 圖像。終的3D數(shù)據(jù)可用于3D 觀察或用于測(cè)量高度和距離。
BX61 | BX51 | BX51M | BX41M-LED | |||||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） | |||||||
機(jī)身 | 照明裝置 | 反射／透射 | 反射 | 反射（對(duì)應(yīng)ESD功能） | ||||
外置12 V 100 W光源 | 內(nèi)裝12 V 100 W光源 | 內(nèi)裝12 V 100 W光源 | 內(nèi)裝3 W白色LED光源 | |||||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)調(diào)焦 | 行程25 mm | ||||||
大標(biāo)本高度 | 25 mm（不包含臂長(zhǎng)調(diào)節(jié)器） | 65 mm（不包含臂長(zhǎng)調(diào)節(jié)器） | ||||||
觀察筒 | 廣角視場(chǎng) | 倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒 | ||||||
超寬視場(chǎng) | 倒置∶三目鏡筒 | |||||||
反射光 | 明視場(chǎng)等 | BX-RLAA | BX-RLA2 | BX-AKMA-LED/BX-KMA-LED | ||||
反射光 | BX-RFAA | BX-URA2 | ||||||
透射光照明裝置 | 100 W鹵素?zé)?/span> | - | ||||||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 明視場(chǎng)用 | 電動(dòng)六孔 | 六孔、中心輸出六孔、七孔（電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器選購件） | 五孔、六孔（對(duì)應(yīng)ESD功能）、七孔 | ||||
明／暗視場(chǎng)用 | 電動(dòng)五孔、電動(dòng)六孔、中心輸出五孔 | 五孔、中心輸出五孔、六孔（電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器選購件） | - | |||||
載物臺(tái) | 帶左手（右手）用同軸驅(qū)動(dòng)旋鈕的載物臺(tái)：76 (X) × 52 (Y) mm，張力可調(diào) | |||||||
ESD性能 | - | 表面電阻108Ω以下，放電時(shí)間少于0.2秒* | ||||||
外形尺寸 | 約318（寬） × 602（長(zhǎng)）× 541（高） mm | 約318（寬） × 602（長(zhǎng)） × 480（高）mm | 約318（寬） × 602（長(zhǎng)） × 480（高）mm | 約283（寬） × 455（長(zhǎng)） × 480（高）mm | ||||
重量 | 約25.5 kg | 約20.8 kg | 約19.5 kg | 約14 kg | ||||
| BXFM | BXFM-S | ||||||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） | |||||||
機(jī)身 | 對(duì)焦單元 | 行程30 mm、微調(diào)旋鈕1圈的微調(diào)行程為200 μm、小刻度單位2 μm、粗調(diào)旋鈕張力可調(diào) | ||||||
觀察筒 | 廣角視場(chǎng) | 倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒 | ||||||
超寬視場(chǎng) | 倒置∶三目鏡筒 | |||||||
反射光 | 明視場(chǎng)等 | BX-RLA2 | U-KMAS | |||||
反射光 | BX-URA2 | - | ||||||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 明視場(chǎng)用 | 六孔、中心輸出六孔、七孔（電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器選購件） | ||||||
明／暗視場(chǎng)用 | 五孔、中心輸出五孔、六孔轉(zhuǎn)盤（電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器選購件） | |||||||
外形尺寸 | 約248 （寬） × 587 （長(zhǎng)） × 249 （高） mm | 約394 （寬） × 334 （長(zhǎng)） × 276 （高） mm | ||||||
重量 | 約9 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | 約6.2 kg （標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||||||