
臺面尺寸100×100mm
行程15mm
負載0-4kg(寬負載)
雙向重復定位精度±150nm
最大速度0.5mm/s
最小步距30nm
馬達型號壓電馬達
位置傳感器30nm分辨率光柵
主體材質(zhì)鋁合金(黑色陽極氧化)
重量1.5kg
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