行程25mm
馬達壓電馬達
最大固定負載4kg
最大速度0.5mm/sec
最小步進50nm（光柵反饋）
重復(fù)定位精度+/-200nm
位置傳感器進口光柵
主體材料鋁合金
幾何尺寸（寬×深×高）100×100×111mm
重量2.55kg
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