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什么是高真空存桿儀?

閱讀:1494      發(fā)布時間:2022-6-15
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  高真空存桿儀可自由設置為原位樣品臺提供高真空存放環(huán)境,避免樣品臺受到污染,更可清潔樣品臺,尤其適用于原位樣品臺。方便研究人員對不同樣品臺的切換,觸屏控制最多可實現(xiàn)10路樣品臺單獨存取。系統(tǒng)可實現(xiàn)真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報警功能。
 
  高真空存桿儀的結構介紹:
  1.腔體靠近樣品區(qū)的位置為可視化窗口設計,可直接觀察樣品桿上的樣品、芯片等,方便操作。接口模塊包含真空閥,用以在電源關閉時保持真空狀態(tài),或在取桿時實現(xiàn)氣體快速通入,加速樣品桿取出過程。高真空存桿腔體采用模塊化設計,支持多個廠家樣品桿,適用廠家包括:JEOL、FEI、Hitachi。
  2.觸屏控制界面,可以進行真空數(shù)據(jù)設定、讀取及觸控操作(HMI),圖形化界面清晰簡潔、操作簡便。
  3.高真空自動控制系統(tǒng),可以根據(jù)參數(shù)設置要求,自動控制分子泵的啟動與停止,確保樣品桿長期處于高真空狀態(tài)。
  4.內置高真空測量系統(tǒng)和高真空發(fā)生系統(tǒng),其中測量系統(tǒng)包括真空度測量和分子泵轉速測量,高真空發(fā)生系統(tǒng)包括真空管道、真空泵、真空閥、真空計等,為產(chǎn)品提供高真空存儲環(huán)境。

 

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