高溫燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規(guī)燒結，是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備。下面詳解高溫燒結爐的幾種常見故障應對措施：

一、冷卻水異常

1、確認加熱電源已停止。  
2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續(xù)保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。  
3、冷卻水發(fā)生異常時，設備處于停止狀態(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。  
4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

二、壓縮空氣的停止

1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態(tài)，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。  
2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設備停下來。

三、停電
  
1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。  
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續(xù)運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。  
3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。

四、加熱電源掉電

1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。  
2、接地故障。  
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。  
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。

五、充氣氣體(氬氣或氮氣)停止

1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。  
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯(lián)的設備要全部停止后再進行檢查。  
3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。  
4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。