在硬脆材料去除加工領(lǐng)域，機械加工利用工具對工件的作用力去除材料，工具磨損比較嚴(yán)重；電加工性能則受到工件材料導(dǎo)電性的限制；激光加工過程中產(chǎn)生的大量熱量易使工件表面形成裂紋與發(fā)生氧化；而超聲加工是非接觸加工，加工性能不依賴于材料的導(dǎo)電性，加工過程中產(chǎn)生的切削熱也很小，是玻璃、工程陶瓷、硅晶體、石英晶體等硬脆性材料有效的加工方法。

　　一般的難加工材料有高溫合金、鈦合金、高強鋼、復(fù)合材料、陶瓷材料等，這些材料硬度高、強度高、不易磨損、不易氧化，以及擁有良好的耐熱性、耐腐蝕性等優(yōu)點，已經(jīng)越來越廣泛地應(yīng)用在機械制造、國防以及航空工業(yè)等領(lǐng)域。例如陶瓷材料是典型的難加工材料，一直以來磨削是之前的加工方法。隨著技術(shù)的發(fā)展，人們嘗試采用超聲波、電火花、離子束、激光及復(fù)合加工等方法來加工陶瓷，并且取得了一定的研究成果。其中超聲波加工陶瓷材料有著*的優(yōu)勢。