60K 桌面型

60K 寬噴型

超聲波沉積光刻膠霧化噴涂設(shè)備介紹：

       在傳統(tǒng)的高速旋涂無(wú)法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應(yīng)用中，用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導(dǎo)體成為了完整的解決方案。與傳統(tǒng)的旋涂相比，采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢(shì)，特別是在高深寬比溝槽和v形槽結(jié)構(gòu)中沿側(cè)壁頂部沉積時(shí)，離心旋涂無(wú)法沉積均勻的涂層沿著側(cè)壁形成膜，而沒(méi)有過(guò)多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部。事實(shí)證明，使用超聲技術(shù)進(jìn)行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結(jié)構(gòu)上的可靠且有效的方法，從而減少了因金屬過(guò)度暴露于抗蝕劑涂層而導(dǎo)致的設(shè)備故障。

超聲波沉積光刻膠霧化噴涂設(shè)備組成：

       整機(jī)由超聲波霧化噴嘴，驅(qū)動(dòng)電源，XYZ三軸聯(lián)動(dòng)伺服系統(tǒng)，智能化操作系統(tǒng)，液體供給系統(tǒng)，低速空氣整形裝置，外殼箱體等組成。

優(yōu)勢(shì)：

      一、各種表面輪廓的高均勻薄膜覆蓋率。

      二、能夠以高均勻度涂覆高深寬比的溝槽。

      三、無(wú)堵塞的霧化噴涂。

      四、能夠以高均勻度沉積薄的單微米層。

      五、經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的可重復(fù)噴涂工藝。

應(yīng)用：

       超聲噴涂設(shè)備主要應(yīng)用在燃料電池、薄膜光伏電池、薄膜太陽(yáng)能涂料、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、太陽(yáng)能電池、石墨烯涂層、硅光伏電池、玻璃鍍膜、電子電路等行業(yè)。噴頭可適用于多種溶液，污水、化工液體、油料粘液也能霧化。

服務(wù)：

       我們提供用于霧化噴涂的各種超聲波處理器。我們也隨時(shí)為您提供滿意的加工定制服務(wù)并為您提出蕞佳解決方案。