一·氟化物，藍(lán)寶石真空晶體生長(zhǎng)爐退火爐設(shè)備用途 
　　主要用于LED行業(yè)的寶石類晶體，氟化物（氟化鎂，氟化鈣）等晶體是生長(zhǎng)制備

二·氟化物，藍(lán)寶石真空晶體生長(zhǎng)爐退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)

1·模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，外形美觀，

2·采用底部電動(dòng)升降或者鐘罩式爐體升降，結(jié)構(gòu)精巧，方便，移動(dòng)平穩(wěn)裝卸料方便

3· 采用觸摸屏+plc控制方式，自動(dòng)化程度高，操作直觀，功能強(qiáng)大。

4· 在觸摸屏內(nèi)可預(yù)存幾十種燒結(jié)工藝，一次編輯，以后直接調(diào)用使用，省去多次編輯工藝的麻煩，避免輸入錯(cuò)誤，燒壞產(chǎn)品。

5· 燒結(jié)的溫度，真空度，等數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)記錄，也可隨時(shí)啟動(dòng)停止記錄，減少無(wú)用數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)可查詢，可導(dǎo)出下載。

6· 燒結(jié)溫度高，用鉬絲發(fā)熱體，可達(dá)1600℃，石墨發(fā)熱體鎢發(fā)熱體可達(dá)2300℃。

7·自帶水冷機(jī)，省去客戶做水路工程的麻煩。

三·氟化物，藍(lán)寶石真空晶體生長(zhǎng)爐退火爐設(shè)備配置

1· 設(shè)備總功率：10-100kw

2·溫度范圍：800-2300℃

3·加熱方式：石墨加熱，鎢絲加熱 感應(yīng)加熱

4.測(cè)溫系統(tǒng)： 熱電偶  紅外儀

5· 冷態(tài)極限真空度：6.67×10E-2Pa(機(jī)械泵+羅茨泵） 6.67×10E-3Pa(機(jī)械泵+擴(kuò)散泵）5.0×10E-4Pa(機(jī)械泵+分子泵）

6· 壓升率：≦2pa/h

7.坩堝升降行程： 根據(jù)晶體生長(zhǎng)大小設(shè)計(jì)。

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

控溫精度： ±0.1℃，采用歐陸溫控儀表

爐內(nèi)充氣壓力： ≤0.05MPa