微量氧分析儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，到達電極表面。傳感器的結構設計保證會有適量的氣體進入與感應電極反應產(chǎn)生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應電極發(fā)生氧化/還原反應，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產(chǎn)生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應出氣體中的氧濃度。
使用應注意以下幾點：
1、取樣分析的時候考慮溫度的因素
即使在常溫下也有可能出現(xiàn)凝露，特別是在大氣壓驟降時，極有可能出現(xiàn)溫度降低而出現(xiàn)冷凝現(xiàn)象，因氧溶于水的性質，出現(xiàn)凝露時也會影響測量精度 。
因此為防止樣氣中的凝露，造成對微量氧的溶解吸收，應根據(jù)現(xiàn)場工況情況對取樣管線采取絕熱保溫或伴熱保溫措施。檢測液氮中的微量氧時，尤其要注意加溫措施，不然，由于氧沸點低于氮沸點13度，樣品氣不均勻氣化，會使測量值嚴重偏低。
2、微量氧分析儀取樣管材質的選擇
管線材質以銅管或不銹鋼管為佳，管線內(nèi)壁要求光滑，次選聚四氟乙烯管。切勿使用橡膠管、乳膠管等管線，這些材質的管線氣密性和抗?jié)B透性比不銹鋼管差，在微量氧測量的標準下會導致誤差較大。
管線一般選用6mm或1/4IN或者選用3mm或1/8IN，總之，優(yōu)先選不銹鋼管或銅管，保證內(nèi)壁光滑潔凈。總之對于微量級（1PPMV）氧分析，優(yōu)先選內(nèi)壁拋光的不銹鋼管銅管。
3、樣氣中不能含有腐蝕性氣體
樣氣中不能含有油類、固體顆粒物粉塵等，會引起傳感器滲透膜阻塞。樣氣也不能有硫化物、磷化物、酸性氣體、堿性氣體等腐蝕性成分存在。當樣氣中存在雜質及可能導致微量氧分析儀傳感器損壞的氣體時，必須經(jīng)過預處理，達到檢測條件后才能進入儀器進行檢測。
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