目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>鈣鈦礦太陽能電池制備>> PCE-6--小型等離子清洗機(jī)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,綜合 |
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| 功能特點(diǎn) |
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通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間；
時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上；
設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口；
選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)；
--小型等離子清洗機(jī)
設(shè)備可實(shí)現(xiàn)清洗及蝕刻功能如下：
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 電源 | 單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，總功率約600W（含真空泵） |
| 輸出功率 | 7.2W、10.2W、29.6W |
| 射頻頻率 | 3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié) |
| 等離子腔體 | 高純石英腔體，?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有?45mm的觀察窗 |
| 真空泵 | 標(biāo)配直連式雙旋真空泵，流量120L/min，功率約500W |
| 極限真空度 | 50mtorr |
| 通入氣體 | 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） |
| 外形尺寸 | 約L400*W300*H300mm（不含真空泵） |
| 重量 | 約10.2kg（不含真空泵） |
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