真空潤(rùn)滑脂是一種低揮發(fā)性的潤(rùn)滑劑,用于低壓環(huán)境中的應(yīng)用。揮發(fā)性較高的潤(rùn)滑劑會(huì)蒸發(fā),導(dǎo)致兩個(gè)問(wèn)題: 它們將不存在以提供潤(rùn)滑。它們將使將壓力降低到低于其蒸氣壓的困難。除潤(rùn)滑劑外,真空潤(rùn)滑脂還用作真空系統(tǒng)接頭的密封劑。這通常限于低真空,因?yàn)槌哒婵栈蚋邷乜赡軙?huì)給油脂脫氣帶來(lái)問(wèn)題。潤(rùn)滑脂常用于玻璃真空系統(tǒng)。潤(rùn)滑脂在使用中可能遇到的所有條件下都不易燃。在標(biāo)準(zhǔn)AS™測(cè)試中,在測(cè)試溫度649°C(1200°F)下,它沒(méi)有顯示自燃,引燃或著火點(diǎn)。50多年來(lái),比瑟奴一直與歐洲宇航局和商業(yè)航空航天業(yè)的合作,為關(guān)鍵任務(wù)組件提供潤(rùn)滑劑服務(wù),同時(shí)解決除氣,污染等問(wèn)題。除氣會(huì)降低潤(rùn)滑劑的有效性,并可能污染附近的部件。公司經(jīng)過(guò)多年不懈的努力,*開(kāi)發(fā)出多款真空潤(rùn)滑脂/超真空潤(rùn)滑脂、真空密封脂。比瑟奴超真空潤(rùn)滑脂可在真空度達(dá)10-12毫巴的超真空環(huán)境中正常工作。
目前,大部分研究在其他行業(yè)得到了回報(bào),其中PSEINU正在應(yīng)用這項(xiàng)技術(shù)設(shè)計(jì)潤(rùn)滑劑,用于潔凈室,實(shí)驗(yàn)室和半導(dǎo)體制造設(shè)施的組件和子組件,包括真空和非真空應(yīng)用。真空應(yīng)用領(lǐng)域一般分為玻璃廠真空鍍膜線設(shè)備,真空爐,采用比瑟奴T.GREASE-55 通用型真空潤(rùn)滑脂,在自動(dòng)化、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、真空高低溫步進(jìn)電機(jī),真空防輻射步進(jìn)電機(jī),真空高低溫減速機(jī),真空高低溫位移臺(tái)絲桿,真空防輻射位移臺(tái),真空高低溫防輻射轉(zhuǎn)臺(tái)滑軌絲桿,真空離子規(guī)及控制器,真空線纜以及驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)等條件下采用比瑟奴T.GREASE-59/BG超真空潤(rùn)滑脂和T.GREASE-55通用型真空潤(rùn)滑脂。在航空航天以及太空領(lǐng)域如:航天器、人造衛(wèi)星、火箭系統(tǒng)等,則采用比瑟奴T.GREASE-56NL 超真空低溫潤(rùn)滑脂,并作為低溫真空潤(rùn)滑脂得到廣泛認(rèn)可和推薦。這種低溫潤(rùn)滑脂是專門配制用于在低溫下表現(xiàn)出無(wú)裂紋性能特點(diǎn),并且承受在低溫 -265°C 和 +80°C 之間溫度交替環(huán)境中。有能力填充臨近表面的微孔,所以改善了熱接觸。無(wú)硅真空潤(rùn)滑脂相關(guān)的污染問(wèn)題,例如‘蠕變’或者‘滯留’在 20°C 蒸氣壓力為 6 x 10-10 托有內(nèi)置的輻射抗性具有強(qiáng)大的‘吸附’能力,其可吸收在金屬和玻璃表面潛在的有害潤(rùn)滑脂和化學(xué)雜質(zhì)易溶于碳?xì)浠衔锶軇?,方便清潔除垢?/span>
在半導(dǎo)體晶圓制造,平板,太陽(yáng)能電池板和LCD制造設(shè)備中的各種機(jī)電設(shè)備對(duì)其潤(rùn)滑劑的要求越來(lái)越高。今天的潤(rùn)滑劑必須能夠處理更高的負(fù)載,更高的溫度,延長(zhǎng)部件的使用壽命,并提高生產(chǎn)率,同時(shí)消除或減少空氣中的分子污染或釋放可能使高速檢測(cè)系統(tǒng)中的光學(xué)器件霧化甚至污染晶片的蒸汽。比瑟奴T.GREASE-58/HS 超真空潤(rùn)滑脂的出現(xiàn),旨在改善高速軸承,運(yùn)動(dòng)控制直線導(dǎo)軌,真空泵以及半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用的其他組件的性能并延長(zhǎng)其使用壽命,這些設(shè)備專為沉積等工藝而設(shè)計(jì),離子注入,蝕刻,光刻和晶片測(cè)量和檢查。在半導(dǎo)體芯片,激光二極管和晶體等低溫測(cè)試中很重要,T.GREASE-58/HS真空潤(rùn)滑脂用于改善樣本船和恒冷器冷頭之間的熱接觸。這種低溫?zé)峤佑|潤(rùn)滑脂確保樣品在盡可能低的溫度下提高測(cè)試靈敏度。T.GREASE-58/HS擁有在低溫條件下提高熱接觸的良好記錄。它對(duì)于冷卻系統(tǒng)耦合超導(dǎo)磁體,低溫恒溫器,溫度傳感器或任何須盡快達(dá)到低溫冷凍的系統(tǒng)很重要。低磁化率也使其成為超導(dǎo)體制造應(yīng)用的理想選擇。雖然速度,均勻性和清潔度使自動(dòng)裝配設(shè)備成為半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn),但他們也提出了一個(gè)關(guān)于潤(rùn)滑的難題。
與氧氣兼容,在高溫和高壓下,高真空潤(rùn)滑脂具有很高的抵抗氣態(tài)和液態(tài)氧侵蝕的能力。因此,它是制造或使用氧氣的行業(yè)中選擇的潤(rùn)滑劑。在各種條件下進(jìn)行了證實(shí)潤(rùn)滑劑與氧氣不反應(yīng)的測(cè)試。真空潤(rùn)滑脂是低揮發(fā)性的潤(rùn)滑劑,用于低壓環(huán)境中。具有較高揮發(fā)性的潤(rùn)滑劑會(huì)蒸發(fā),從而導(dǎo)致兩個(gè)問(wèn)題:
他們不會(huì)出現(xiàn)提供潤(rùn)滑。
它們將使將壓力降低至低于蒸氣壓的困難。除潤(rùn)滑劑外,真空潤(rùn)滑脂還用作真空系統(tǒng)中接頭的密封劑。這通常限于軟真空,因?yàn)槌哒婵栈蚋邷乜赡軙?huì)給油脂脫氣帶來(lái)問(wèn)題。油脂常用于玻璃真空系統(tǒng)。[1]所有金屬系統(tǒng)通常在軟金屬中使用刀口密封。其中O形環(huán)密封件被使用時(shí),這些應(yīng)不被潤(rùn)滑(在靜態(tài)密封至少),因?yàn)樗赡軙?huì)導(dǎo)致壓縮時(shí)的O形環(huán),在電子制造過(guò)程中,經(jīng)常使用真空潤(rùn)滑脂來(lái)防止腐蝕。