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德國(guó)費(fèi)斯托FESTO壓電閥描述：壓電閥是利用功能陶瓷片在電壓作用下產(chǎn)生彎曲變形原理制成的一種兩位式（或比例式）控制閥?？刂茐弘婇y動(dòng)作只需提供足夠的電壓，電功耗幾乎為零。 壓電閥在E/P轉(zhuǎn)換單元中起先導(dǎo)閥的作用，每個(gè)E/P轉(zhuǎn)換單元同時(shí)應(yīng)用兩個(gè)壓電閥，對(duì)于壓電閥由于導(dǎo)壓（即先導(dǎo)腔室中的氣壓力）太小，不具有產(chǎn)生氣流的能力，所以必須增壓。
增壓是在伺服部分完成，它的作用猶如氣動(dòng)繼電器。伺服部分在先導(dǎo)腔室一側(cè)有一個(gè)面積較大膜片，在輸出及排氣腔室一側(cè)有一個(gè)面積較小的面。當(dāng)導(dǎo)壓達(dá)到120kPa時(shí)，施加在先導(dǎo)腔室一側(cè)膜片上的力，大于作用在輸出及排氣腔室另一側(cè)面上的力，這將迫使移動(dòng)閥心與排氣閥心移動(dòng)，當(dāng)兩側(cè)面的力達(dá)到平衡時(shí)，這樣作用在輸出及排氣腔室一側(cè)面上的氣壓將大于導(dǎo)壓，從而達(dá)到增壓的目的。其動(dòng)作原理：壓電閥的初始狀態(tài)（不通電），功能陶瓷片作用在噴嘴口1上，這時(shí)，口2與噴嘴口3與先導(dǎo)腔連通，形成為一個(gè)整體。當(dāng)壓電閥接通電源時(shí)，功能陶瓷片變形向上翹，把噴嘴口3壓住，使得口2與噴嘴口1連通。
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