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3D光學(xué)輪廓顯微鏡

閱讀:2125      發(fā)布時間:2019-3-7
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產(chǎn)品名稱:3D光學(xué)輪廓顯微鏡
產(chǎn)品型號:PZ-3010D
產(chǎn)品簡介:使用光學(xué)輪廓儀,集成了共聚焦計數(shù)和干涉測量技術(shù),并具有薄膜測量能力,該系統(tǒng)可以用于標(biāo)準的明場彩色顯微成像,共焦成像,三維共焦建模,PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。

可用于標(biāo)準的明場彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。沒有移動部件使其擁有堅固而緊湊的設(shè)計,同時也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。極其簡單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得非??斓臏y量速度,只需方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R,調(diào)焦,并選擇適當(dāng)?shù)牟杉J郊纯伞?/p>

產(chǎn)品功能:

※共聚焦 
共聚焦輪廓儀可以測量較光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統(tǒng),可提供高對比度的圖像。籍由表面的垂直掃描,物鏡的焦點掃過表面上的每一個點,以此找出每個像素位置的對應(yīng)高度(即共聚焦圖像)。
共聚焦輪廓儀可以由其光學(xué)組件實現(xiàn)超高的水平解析度,空間采樣可以減小到0.10μm,這是一些重要尺寸測量的理想選擇。高數(shù)值孔徑NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物鏡可測量斜率超過70°的光滑表面。neox具有*的光效,共聚焦算法可提供納米級的垂直方向重復(fù)性。超長工作距離(SLWD)可測量高寬比較大、形狀較陡的樣品。

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