掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000詳細介紹
緊湊型設(shè)計，分辨率為4 nm*1
通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
操作簡捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2
?掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000技術(shù)規(guī)格
| 項目 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） | |
| 加速電壓 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率） | |
| 低真空模式 | 真空范圍：6 ～ 100 Pa | |
| 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
| 樣品臺 | 3-軸自動馬達臺 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90° | |
| 大樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
| 大樣品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm | |
| 探測器選配 |
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