產(chǎn)品特點(diǎn)：

3D光學(xué)輪廓顯微鏡特點(diǎn)：
一款*的3D光學(xué)測量儀
整合了微型三坐標(biāo)測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)的功能。
LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì)，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨，高可重復(fù)性和可溯源
即使對于復(fù)雜樣品表面，仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率
高測量速度
測量速度可以達(dá)到170萬點(diǎn)/秒。
模塊化和可擴(kuò)展性
新的功能可以很容易通過擴(kuò)展測量模式整合
全自動(dòng)
測量簡單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等

3D光學(xué)輪廓顯微鏡S neox的主要技術(shù)參數(shù)：
位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm
樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決于表面結(jié)構(gòu)
樣品高度：100mm ～ 345mm
樣品重量：30kg。
水平分辨率：0.44µm
垂直分辨率：10nm
掃描高度：22.5mm
擴(kuò)展視野范圍：10000mm2
單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬個(gè)測量點(diǎn)/秒
小測量高度：0.01µm
測量高度：22.5mm
測量范圍：10000mm2
測量形貌長度：100mm
小可重復(fù)性：0.001µm
小測量粗糙度（Ra）：0.03µm
小測量粗糙度（Sa）：0.015µm
小測量半徑：1µm
小測量垂直角度：20°
大測量傾斜角度：87°