產(chǎn)品簡介：

光學(xué)3D在線輪廓測量機(jī)設(shè) 計 理 念：
輕便、小尺寸的設(shè)計讓裝配變得更加簡單，可以在任意方向進(jìn)行組裝來滿足不同方向上的測量應(yīng)用需求。連接線可長達(dá)14米，這使能夠非常好的裝配到流水線或機(jī)器人裝配應(yīng)用中。
優(yōu) 勢：
S mart提供了多功能測量模式用來處理各種不同的表面類型。將3種測量模式融合為一體并可以自由切換，可以輕松的切換到合適的模式來測量不同的產(chǎn)品。靈活的策略模式讓S mart對各種應(yīng)用都有著測量能力。

共聚焦輪廓儀可以測量較光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統(tǒng)，可提供高對比度的圖像。籍由表面的垂直掃描，物鏡的焦點(diǎn)掃過表面上的每一個點(diǎn)，以此找出每個像素位置的對應(yīng)高度(即共聚焦圖像)?！　」簿劢馆喞獌x可以由其光學(xué)組件實(shí)現(xiàn)超高的水平解析度，空間采樣可以減小到0.10μm，這是一些重要尺寸測量的理想選擇。高數(shù)值孔徑NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物鏡可測量斜率超過70°的光滑表面。具有*的光效，共聚焦算法可提供納米級的垂直方向重復(fù)性。超長工作距離(SLWD)可測量高寬比較大、形狀較陡的樣品。

光學(xué)3D在線輪廓測量機(jī)的技術(shù)參數(shù)：

位移距離（Z）：26mm（自動調(diào)節(jié)）
掃描高度：25mm
垂直分辨率：20nm
小測量半徑：2µm
小測量楔角：20°
小測量粗糙度(Ra):80nm
小測量粗糙度(Sa):50nm
大測量傾斜角：87