-2B型烘膠臺在半導(dǎo)體工藝制備過程中，主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜，具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點；可長時間連續(xù)穩(wěn)定工作，可廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)。  
 烘膠板采用不銹鋼材料制造。  
 烘膠板規(guī)格: ≥F200mm  
 烘烤溫度:  室溫～200℃  
 控溫精度:  ±1℃ 
控溫形式:  智能溫控儀PID調(diào)節(jié)，自動測溫，控溫。  
 輸入電源：AC 220V/240V  5OHz  
 整機功率：600W 
整機重量：10Kg